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第19卷第5期 传感技术学报 V01.19No.5
CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS
2006年10月 JOURNAL Oct.2006
Anti-StictionStructureforSiliconCondenser
Microphone
PAN
Xin+,WANG Lian,WElJian—hui
Cheng—hao,XU
(Institute 100080,China)
ofAcoustics,ChineseAcademyofScience,Beijing
the sacrificeofsiliconeondenser isaserious inmicro-
Abstract:Stictionduringreleasing layers microphone problem
electromechanical fabricatedonthe can stictionandin—
systems(M旺I、嗄S).Thebumps effectivelyprevent
backplate
creasethe werefabricatedonthe inthe methodis
productyield.Thebumps upperbackplatepast.This simple,
butitwill the
causea thin,flexible decrease of ananti-stic—
backplate,whichsensitivitymicrophone.Wepresent
tionstructureforsiliconcondenser makes as materialonthe10wer
useof N4 thick
microphone,whichSi3 bumps
fabricatedthismethod can
stiction.The be
backplate.nemicrophoneusing effectivelyprevents bumps
boron siliconalso.This is siliconcondenser with
usingheavy doping processreproducible.Finally.themicrophone
thisanti—stictionstructurewasfabricated
successfully.
condenser
Keywords:MEMS;siliconmicrophone;anti—stietion;bump
EEACC
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