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线式洁净室系统 福建省机电建筑设计研究院 刘昌祖 福州结特环境新技术有限公司 陈莲强 摘要分析了传统的集中送风净化系统存在的问题，介绍了线流式洁净室节 能、出风均匀、节省空间等特征。 关键词洁净室线流型 节能 随着国民经济的持续稳定地增长和生产技术的不断创新发展，生产工艺对生产环境的要 求越来越高。超大规模集成电路的前后道工序，各种显示器的制造，各种光学零部件的制造 和装配以及制造行业(GMP的推行)，医院的手术室，食品工业等都对生产环境提出了更高 的要求，不仅仅要保持一定的温湿度，还需要保持一定的空气洁净度。 当前，我国加入WTO，工业迅速发展，各行业对洁净技术与产品的要求越来越高，需 求越来越大。洁净技术已经在各个领域得到广泛应用，并日益受到人们的逐步认识和重视。 传统的集中送风净化系统存在以下问题： a)灵活性不足，难以适应生产工艺的调整； b)初投资大，能耗高，运行费用上升； c)需要一定的吊顶空间，管线布置施工难度大； d)施工工期长，加工质量不稳定； e)维护检修工作量大。 福州洁特环境新技术有限公司，引进日本先进技术，改进了线式洁净室系统洁净室的不 足，体现出其灵活、节能、出风均匀、稳定、节省空间的独特优点。 1洁净室定义 FS209C-E定义：空气中粒子浓度受控的房间。 ISO14644定义：空气中粒子浓度受控的房间，房间的建造和使用过程中应尽可能减少 引入、产生和滞留粒子，室内其他相关参数如温度、湿度、压力按要求进行控制。 2洁净室分类 洁净室有各种分类法，按气流组织可分为如下 f单向流型{秉辜善离纂 ≮ f乱流型 。非单向流型矢流型 l线流型 536 3线流型 是一种安装在室内的空调和净化兼备的单元装置，通过安装在顶棚下条形出风装置送 风，从各单元装置下部回风的系统。属非单向流型洁净室，但比其它非单向流型洁净空气流 稳定，具有单向流型和非单向流型之间的中间性能。通过调节单元装置台数和条形出风装置 条数，可在洁净度6～9级(1000级以下)的洁净室中使用。 4线式洁净室 一般的洁净室是在机房设置空调机，从通风管道送出空调处理后的风，通过安装在洁净 室顶棚的高效过滤器，向洁净室送风。温湿度的控制室通过设置在洁净室内的温湿度检测器 检测周围的温湿度，控制机房空调机的冷热源和加湿装置的运转。像这样一般的洁净室空 气、冷热源等是从分离在别处的机房送过来的。 所以，工程进展的砌磋、机器的设置使用维修方面存在许多不方便的问题。例如：洁净 室顶棚上通风管道空间的确保，洁净室的送回风管、电线工程的施工和空间的确保，温湿度 检测器和机房冷热源运转的确认等存在各种不方便的问题。 在实际施工现场中，存在着比上述多好几倍的问题，使得工期变长，费用增加。 然而，线流式洁净室克服了上述存在的问题。它是在洁净室专用的彩钢板组成的房间 里，安装上具有空调和净化功能的空气调节单元(ACU)和只具有净化功能的净化单元 (CU)，通过安装在顶棚下的送风单元直接向室内全域送出符合洁净要求的空气，然后从这 些机器单元下部回风，见图1。 送风单元(su)送风单元(su) a线式洁净宴系统 b传统风管式洁净室 图1洁净室通风系统示意图 5线式洁净室系统的特征 线式洁净室的最大特征是：由在工厂预先制作的单元组成的单元式洁净室系统，不像一 般洁净室系统那样需要进行大规模的工事，现场施工极为方便，因而施工工期缩短，使系统 能在短时间内建成运行。 537 理解了上述特征，可总结出下面的优点： a