ZAO薄膜的分析研发现状及发展趋势.docVIP

ZAO薄膜的研究现状及发展趋势 2010年01月16日 星期六 17:33 1 引言在人类社会的科学实验活动中，功能材料总是起着重要的作用，尤其是第二次世界大战以后，材料科学的发展达到了一个高潮，伴随着半导体、计算机、太阳能等产业的发展，相关的一种功能材料——透明导电氧化物薄膜随之产生、发展起来。这种属于半导体光电子材料的薄膜表现出异于一般材料的特异性能(透射、导电)，在压电换能器、光电显示器、太阳能电池、气敏传感器及光波导等方面具有广阔的应用前景，能满足人类在信息时代特定条件下和不同目的的特殊需求。目前市场上，使用的是透明导电氧化物薄膜In2 ：sn(f1D)，其技术是成熟的，但由于In、sn等材料有自然储量少、制备工艺复杂、成本高、有毒、稳定性差等缺点，从而限制了在实践中的广泛使用，因此，急需一种替代产品问世，以满足人们的需要。ZnO：A1(ZAO)薄膜是迄今为止最佳的ITO膜替代品。二者相比而言，zAO薄膜不仅具有与ITO可比拟的电学和光学特性，而且有储量丰富、易于制造、成本较低、无毒、热稳定性好等优点，因而，从2O世纪7O年代末开始，人们对ZnO薄膜及掺杂体系的研究 趣日益浓厚，近年来更成为研究透明导电氧化物薄膜的热点，而ZAO薄膜是ZnO掺杂体系中最具代表性的。2 ZAO薄膜的性质透明导电氧化物薄膜有I o3、SnO2、和ZnO三大体系，其性能对