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纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006
基于频闪成像的MEMS静动态特性测试技术
向东L2，陈海清1，王青玲，，李扬1
(1华中科技大学光电工程系，湖北武汉430074；2中国地质大学数学与物理学院，湖北武汉430074；
3中国地质大学地球物理与空间技术学院。湖北武汉430074)
摘要：采用集成频闪成像结合显微干涉技术研制了微机电系统(MEMS)的静动态性测试系统。通过控制LD闪光的频率与
MEMS器件激励信号的频率一致，采用五步相移干涉算法及去包裹算法恢复MEMS器件某时刻的三维静态形貌。调整光脉
冲与激励信号源的相对延时可获得周期内不同时刻的多组干涉图像．对这些干涉图像进行组内、组间去包裹并消除面内运动
测试，验证了此技术的适用性及可靠性。
关键宇。微机械系统(MEMS)；频闪成像；相位解缠；特性测试
The for ofMEMSBased
Staticand Characterization
Technology Dynamic
。0n
StroDoscopicImaging
XIANG
Dong比。CHENHai-Qin91，WANGQing-LingJ，LIYan91
(1 of
Opto-electronicsEngine财ingdepartment,HuazhongUniversityScienceTechnology；
2TheInstitution ofGeosciences；
ofMathematics＆Physics，ChinaUniversity
3Theinstitution and
ofgeophysicsgeomaticsinformation，ChinaUniversityofGeosciences)
Abstract：A and
measurementforsl砒icand charactorizationofMEMSiS which
system dynamic developed，instroboscopicimaging
micro-visionis theLDis atthesame ofthe whichdriv烈ttheMEMS
computer signal device，applied
applied．Let pulsed frequency
the
and thesurface of
five-stepphase-shiftinterferome仃y algorithm,WOc觚acquire shapes sample．By
algorithmunwrapping
therelativeoftheLD and can numberofinterferenceofthedifferenttime
time traindrivewaveforIn．WC
adjusting pulse gain pattern
inthe
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