大功率速调管冷却水套内水蒸气的影响研究.pdfVIP

大功率速调管冷却水套内水蒸气的影响 赵金玉赵海鹏邓峰魏作振 (中国科学院电子学研究所 北京100080) 摘要：本文通过大功率速调管真空烘烤排气过程中，对外真空系统真空度与时间的变化曲线对比。分析了 由于速调管水套内冷却水处理不彻底而给真空系统带来的不良后果，同时也会给速调管的工作性能带来不良的影 响。 关键词：真空烘烤，排气，冷却水 大功率速调管在科研生产研制过程中，由于工艺及速调管的性能指标等原因。会对一些整管 进行返工，重新进行真空烘烤排气。我们要分析的是对从测试现场下来的速调管进行返工时，如 果对冷却水套内冷却水处理不干净会给真空系统及器件带来不良结果。 1．对外真空系统真空度及抽气时间的影响 返工的大功率速调管主要有两种甄因，一种是整管在烘烤排气后发现有大的漏气、绝缘瓷短 路、发射不正常等现象。另一种是在测试现场测试指标达不到技术要求的速调管。对于前一种情 况再次对速调管进行烘烤排气是不会给真空系统带来不良影响。而对从测试现场直接下来的速调 管再次真空烘烤排气时，如果对冷却水套内冷却水处理不彻底影响就很大了。为了便于说明问题， 我们从实际烘烤排气同一管型速调管的实验记录来进行分析如图1所示： P(Pa) 1．OOE+Ol 图1升温过程中外真空系统真空度与时间变化曲线 实线所表示的是从测试现场下来进行返工的大功率速速调管冷却水套内冷却水清除的比较彻 底，在烘烤排气过程中炉体升温及保温时外真空系统真空度与抽气时间对比的曲线。从实线可以 看出外真空系统从扩散泵加热开始只用了40分钟真空度就已经达到5．6X 10一Pa，4小时后就达 到8．3×10一Pa。虚线所示的是从测试现场下来进行返工的大功率速调管冷却水套内冷却水清除的 不彻底，在烘烤排气过程中炉体升温及保温时外真空系统真空度与抽气时间的曲线用虚线表示。 x 从虚线部分可以看出外真空系统扩散泵加热开始用了2小时lO分钟才达到1 10～Pa，真空度在升 温及保温过程中相当长的时间真空度是在104Pa量级，12个小时后外真空才进入101Pa量级。与 实线部分相比真空度相差半个到一个数量级。 表1不同真空度下气体成分比对照表 气体成份比(％) 系统真空度情况 H20 N2 毡 C02 H2 CH‘ C3H3 Ar CO 大气压空气 78．0820．950．03 0，9 烘烤前真空系统 93．00 0．40 0．40 0．80 O．80 O．80 3．50 (10～Pa一10‘。Pa) 烘烤中真空系统 21． 17．50 17．500．40 0．87 2．63 17，15 21．90 (10～Pa一10-4Pa) 9 烘烤后真空系统 75． 0．20 7．50 O．20 6．67 2．20 7．60 (10～Pa一104Pa) 5 不烘烤的真空系 79．00 0．79 3，lO O．30 O，80 16．00 统(101Pa-lO。Pa) 从表1不同真空度下气体成分比中水蒸气H：O的含量可以看出，实线在升温及保温的过程中真 空度一直比