基于双横向效应PSD的高精度光位置检测仪研究.pdfVIP

基于双横向效应PSD的高精度光位置检测仪 刘鸿飞王淦泉陈桂林 (中国科学院上海技术物理研究所 上海 200083) 摘要：精密机械加工业的发展对光敏位置检测仪提出了更高的要求．新型双横向光电效应PSD 克服了横向光电效应PSD具有测量错误大、非线性严重等不足．基于双横向光电效应PSD研制的高 精度光位置检测仪位置分辨率高，性能稳定、能满足现阶段工业发展的需要． 关键词： 双横向光电效应；PSD；光位置检测；高精度 1．引言 可见光位置检测仪在工业加工制造、仪器装配等场合有着广泛应用，能检测可见光位置信息的 光敏探测器很多，例如；PSD、CCD、CMOS都可以实现这一功能。PSD是一种横向光电效应器件，与 CCD、锄OS相比，具有位置分辨率高、对聚焦要求不严、不存在测量死区等一系列优良特点，在相 关领域得到了大量应用。但是，在应用过程中，普通PSD也表现出了一些不尽人意的地方，如检测 错误大，线性度差等。业界对它进行了一系列改进，推出了枕型PSD，也只是在一定程度上改进了 非线性问题。在此基础上，美国UDT公司推出了一种新型的双横向光电效应器件DLS-2，在保持普 通PSD优良性能的同时，检测错误率和非线性度方面得到了极大的提升。 ‘ 2．双横向光电效应PSD工作原理 双横向效应器件的结构为：在N型高阻抗半导体基片上布上均匀的P型电阻层，在电阻层的末 端引出两条导线，导出x位置信号，基片背面是N型电阻层，在末端也引出两条导线，导出Y位置 信号。当一束光照射到PSDI作面，在入射点产生与光强成正比的光电转换电荷，电荷通过电阻层 流向电极，由于入射点与各电极的距离不同，因而各电流方向的电阻值不同，距离越远的电阻值越 大，引出的电流越小，距离越近的电阻值越小，引出的电流也就越大。双横向效应器件与横向效应 器件最大的不同之处在于：它采用了两个电阻层，而且两个电阻层的电流方向正交，得到普通横向 效应器件两倍大的电流，因而有着非常高的分辨率，可以达到0．1ure，同时，电极间干扰较小，测 量精度非常高。 ’ 双横向效应器件的位置计算和横向效应器件一样，通过对各引脚输出的电流进行简单的计算， 就可以得到光斑中心与各引脚的距离，从而确定光斑中心的位置。x方向的位置； Px=筹Llx丰l譬 (1) Y方向的位置：、 毋：l，y-I，V．L。 (2) 乃+∥ 其中豇，A．矽，矽’分别为四个输出的电流，工为电阻层的长度。 10“ 图1双横向效应器件结构示意图及其等效电路图 3．系统硬件电路设计 双横向效应PSD输出的光生电流为纳安级，非常微弱，系统必须对它进行拾取放大、滤波、位 置计算等操作，系统对测量精度要求非常高，这给系统设计带来许多困难，特别是前端探测器信号 拾取电路，由于输出信号比较弱，设计要求非常小心。 3．1预放电路设计 预放电路放大后的信号是光点位置计算的直接来源，因此在拾取并放大电流信号的同时，必须 保证信号放大的精度，双横向效应PSD输出的电流信号比较弱，因此预放电路必须工作在高增益状 态。系统采用的放大电阻为lOMl2，电阻热噪声能量为En=√4尼刀2△厂，与电阻大小尺、系统带宽 V直接相关，并联一个相应大小的电容，可以限制系统带宽，提高信噪比，同时可以提高系统的稳 定性。 图2系统预放电路图 1085 、 、 r-、．，_一