采用单片机控制的真空控制器研究.pdf

2005年12月 第十三届全目电子束·离子束·光子束学术年套 湖南·长沙 采用单片机控制的真空控制器 邹春艳 伍三忠 罗宏洋 (中国电子科技集团公司电子第48研究所长沙市410111) 摘要：本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器。离子注入机真空系统复杂，为适应自 动化控制的发展要求，真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外，还要具备 通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点。采用8032单片机控制的真空控制器可以完全实现以上设 计要求，文中阐述了它的工作原理，主要硬件结构、Modbus现场工业总线协议的软件设计及抗干扰措 施。 关键词：单片机；真空控制器；现场工业总线 一、前盲 随着大规模集成电路的发展，离子注入机已成为半导体工业中心不可少的设备，其自动化程度的 要求也越来越高。采用计算机控制必然会带来新的生命力，它可提高注人机的自动化水平，减少人为 因素，提高工艺重复性，以及改善操作人员的劳动条件等。而真空控制器是离子注入机当中必不可少 的部件。PLC、工控机、智能网络节点、单片机等都能实现该部件的控制要求、满足可靠性和自动性，但 从性价比去分析，单片机系统就远远优于其它方法构建的控制器。笔者根据离子注人机的要求选用具 有功能强、可靠稳定、应用灵话且成本低等特点的80C32及其它集成电路研制成一台新型的真空控制 器。该控制器具有手动和自动功能，不仅能手动控制泵及阀门等真空部件，监视它们的运行状态，而 且能与主机进行串口通讯，接收主机发出的命令，自动执行上述功能，实现主机遥控操作。 二、工作原理 该真空控制器用于控制注入机加速管之后的泵、各个真空阀门的开启与关闭。设计主要是实现多 通道模拟量输人、多通道数字量输入输出、RS232C光纤通信、Mmlbus通讯协议、真空互锁保护等功能 模块。 具体设计如下：采用80C32单片微型计算机作控制器，外接16K的程序储存器和8K的数据储存 键盘电路、控制、监控及报警电路均挂在它的口线上。80C32系统的外围电路对真空计输出信号进行 采集和数据处理，转化为0—255数值，置成数值／真空函数表。另外，还利用80c32内部的一个全双工 串行口接口与主机进行异步通讯。手动方式就是根据面板上的真空部件运行图及采集过来的真空信 号进行按键操作，实现泵、阀等的开关动作。而自动方式则把监视被控对象的一些信息及真空信号反 馈给主机，由主机下命令给本控制器来执行上述操作。它的原理方框图如图1。 -145- 200,5年12月 第十三届全国电子柬·离子束·光子束学术年会 湖南·长沙 图l：真空控制器原理方框图 三、摇硬件介绍 1．多通道模拟量输人电路 图2多通道模拟量输入的前级放大电路图 该真空控制器需要采集10多路真空计输出信号，信号电平范围一致，故可以采用多通道切换式的 统一的前级放大电路。舢，D转换采用ADC0809芯片，它的精度为8位，其转换时间为100us，性能可满 足本控制器的要求。 运放部分主要是将采集到的信号进行放大使它们能够满足AD转换条件的输人电平0—5V，其中 CD4051的输入端与真空计的输出端相连(包括高、低真空计)。W-、w，做凋零用，w2为安装调试时微 调，也可以补偿由于线路引起的误差。并且考虑到前级运放的输人是真空计输出的信号，因而选取用 -146— 2005年12月 第十三届全圈电子束·寓子束·光子束学术年套 湖南·长沙 自稳零高精度运放OP07，它的输入阻抗很高，约50M，输入失调电压温漂和输入失调电流漂都很小且 价格适中。第二级选用普通的斗A741。 这种结构的优点就是：(1多路测真空信号共用一路有源综合电路(运放)(2)测量点问的切换采 量信号的影响可忽略不计。通道的切换由80C32单片机中Pl口来控制。 2．多通道数字量输人输出电路 别用来输出执行动作、输出泵保护及报警信号、监视真空部件运行状态、键盘行与列的输人口。为防止 干扰产生误动作、误信号输入输出都采用TILll7光电隔离。