MEMSIC加速度传感器.docVIP

加速度检测 ——典型物理量检测方法及举例 一般加速度传感器就是利用了其内部的由于加速度造成的晶体变形这个特性。由于这个变形会产生电压，只要计算出产生电压和所施加的加速度之间的关系，就可以将加速度转化成电压输出。当然，还有很多其它方法来制作加速度传感器，比如电容效应，热气泡效应，光效应，但是其最基本的原理都是由于加速度产生某个介质产生变形，通过测量其变形量并用相关电路转化成电压输出。 一：MEMSIC加速度传感器 二：内容 1.装置原理： 一个被放置在硅芯片中央的热源在一个空腔中产生一个悬浮的热气团，同时由铝和多晶硅组成的热电耦组被等距离对称地放置在热源的四个方向，在未受到加速度或水平放置时，温度的下降陡度是以热源为中心完全对称的，此时所有四个热电耦组因感应温度而产生的电压 是相同的(见图 1) 由于自由对流热场的传递性，任何方向的加速度都会扰乱热场的轮廓，从而导致其不对称 此时四个热电耦组的输出电压会出现差异，而这热电耦组输出电压的差异是直接与所感应的加速度成比例的，在加速度传感器内部有两条完全相同的加速度信号传输路径，一条是用于测量 X 轴上所感应的加速度， 另一条则用于测量 Y 轴上所感应的加速度(见图2 ) 2.加速度传感器量程和输出： MEMSIC 加速度传感器最大可以测量范围是 1g 到100g，除了动态加速度，如震动 MEMSIC器件还可以测静态加速度，如重力加速度。 器件可以提供模拟或数字的输出信号 模拟输出有绝对模式和相对模式两种，绝对模式的输出电压和供电电压无关，而相对模式的输出电压和供电电压成比例。数字输出信号是一种PWM调制后的和加速度大小成正比的占空比信号，高电平占一个周期脉宽的比率 ，分辨率，也就是能测量到的最小加速度变化量,取决于信号噪声，MEMSIC的典型噪声水平低于1mg/ Hz。在低频条件下可以测量到低于 1mg 的信号频率响应，也就是对快速变化的加速度的反应能力由结构来决定。对器件来说在-3dB处频响为30Hz通过外部扩展，频响可以扩展到 160Hz 以上。 图 1 传感器检测原理垂直剖面图 图 2 内部功能方块图 封装和工作条件： 加速度传感器采用低高度 LCC 表面贴装气密性封装形式 (封装尺寸 5mm x 5mm x 2mm). 它还包含一个内置的温度传感器和参考电压输出. 管脚介绍： VDD 内部数字电路电源电压输入脚：直流电源电压必须控制在+3V 到+5.25V 之间。 VDA 内部模拟电路电源电压输入脚：直流电源电压必须控制在+3V 到+5.25V 之间。 GND 接地脚 AOUTX 轴加速度感应输出脚：与之相连的器件的输入阻抗需足够高以保证此脚的输出电流不大于100μA灵敏度在出厂前被设置成与Y轴相同，但可以根据用户的要求将两个轴的灵敏度设置成不同的值。 AOUTY Y轴 加速度感应输出脚：与之相连的器件的输入阻抗需足够高以保证此脚的输出电流不大于 100μA 灵敏度在出厂前被设置成与Y轴相同，但可以根据用户的要求将两个轴的灵敏度设置成不同的值。 TOUT 内部温度传感器缓冲输出脚：此脚输出的模拟电压所指示的是管芯衬底的温度， 此电压可用于测量周围环境温度度的变化量而不是对温度直接测量.当环境温度发生变化时,Tout 的输出电压相对于 25°C 时的电压就产生一个差值. 用此差值可以对传感器的零点偏置和灵敏度进行补偿。 Sck MEMSIC 标准产品选择的是内部时：800kHz 当选择内部时钟时此脚必须接地 根据客户的特殊要求 MEMSIC 可以定制使用外部时钟的产品外部时钟的频率范围 400kHz 至 1.6MHz 。 Vref 输出一个 2.50V 的参考电压 此脚的驱动能力为100μA 。 3.灵敏度温度变化的补偿 所有热电耦式加速度传感器的灵敏度都会随温度而变化。这种灵敏度的变化完全由热传导的物理特性所决定 制造过程中的个体差异不会影响这种灵敏度的变化，所以这种灵敏度的变化不存在个体之间的不同。 灵敏度随温度的变化遵循以下公式： 其中Si 是在任何初始温度 Ti 如（ 25°C）时的灵敏度。 而Sf是在任何最终温度Tf 时的灵敏度。温度单位为绝对温度°K 温度的幂值系数T在不同类型的器件是会有一些偏差(比如 EL 型的 T 是 2.90, 而 AL 型是 2.67) 图 4 热电偶加速度传感器的灵敏度曲线 应用领域的灵敏度调整： 1.对于游戏应用领域 ，游戏机或