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VPC磨针技术
Vertical Probe Card VPC磨針技術 Product Development Section RD Department MJC Probe Inc. 2005.5 Agenda VPC 針點特性概述 磨針經驗談 QA 針點在VPC所扮演的角色 Probe card為測試之介面，必須提供品質良好的接觸品質，以忠實反映待測物之狀況。 VPC本身接觸的狀態非穩定接觸，針尖的表面狀態(針點)良好與否，會影響傳導的品質。 太粗糙的針點或太光滑的針點均非好的針點。 被接觸物的材質及表面狀態也會影響接觸品質。 接觸物的種類 Probe card analyzer PRVX or PB3500 ：checkplate Wafer ：Ball Bump Checkplate： material : W 表面狀態 : 光滑鏡面 硬度 : 高 Ball Bump : material : Sn-Pb alloy 表面狀態 : 粗糙球面 硬度 : 低 Probe card analyzer Planarity test ： 以checkplate 之光滑平面與針尖touch，輸入訊號，取得各針尖所回饋之訊號後，得到水平資訊。 Alignment test： 以光學鏡頭對針點取相，取得針點反射與環境之反差後，得到位置座標資訊。 Tester (ATE) 對位：CCD取相 在tester上，對位以prober之CCD取得針點之位置與Wafer 上的Bump位置後進行接觸，因此需要略為光滑的表面(與抓取Alignment之方法相同)。 實際測試時，以針尖與bump接觸，需要略為粗糙的針點。 PRVX檢測兩難之處 Planarity test 需要粗糙表面的針點，Alignment test需要光滑反射量大的針點，兩者互相衝突，在Planarity test 的狀態下，光滑的針點接觸到光滑的check plate，只要界面有微粒雜質，即造成open，而產生nf之情形。 而在Alignment test時，需要足以反射機台判定反差邊界的光線，才能抓到正確的針點位置，因此需要足夠光滑的針點表面。 解決方法(經驗值) Planarity test ： 以5～12μm砂紙所研磨出來的針點表現較佳。 Alignment test： 以1～5μm砂紙所研磨出來的針點反射較好。 CCD取相： 以1～5μm砂紙所研磨出來的針點反射較好。 測試： 以3～12μm砂紙所研磨出來的針點表現較佳。 QA * MPI * MPI
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