国外CCD检测技术在工业中的应用与发展研究.pdfVIP

国外CCD检测技术在工业中的应用与发展 刘 征，彭小奇，丁剑，唐英 (中南大学物理科学与技术学院，湖南长沙410083) 摘要：CDD图象传感器以其光谱响应宽、动态范围大、灵敏度和几何精度高、噪声低、便于进行数 字化处理和与计算机连接等优点，而在工业测控中得到广泛应用．本文简要介绍了CCD图象传感器的检 测原理和CCD图象传感器在工业检测中的应用现状，分析了现有CCD检测技术在应用中存在的问题和局 限，指出了C01)传感器在工业检测应用中的发展方向． 关键词：CCD；检测技术；图象传感器 1 引言 Device—CCD)是一种以电荷为信号载体的微型图像传感 电荷耦合器件(ChargeCouple 器，具有光电转换和信号电荷存储、转移及读出的功能，其输出信号通常是符合电视标准 的视频信号，可存储于适当的介质或输入计算机，便于进行图像存储、增强、识别等处理 【11。 自CCD于1970年在贝尔实验室诞生以来，CCD技术随着半导体微电子技术的发展 而迅速发展，CCD传感器的像素集成度、分辨率、几何精度和灵敏度大大提高，工作频率 范围显著增加，可高速成象以满足对高速运动物体的拍摄【2】，并以其光谱响应宽、动态范 围大、灵敏度和几何精度高、噪声低、体积小、重量轻、低电压、低功耗、抗冲击、耐震 动、抗电磁干扰能力强、坚固耐用、寿命长、图像畸变小、无残像、可以长时间工作于恶 劣环境、便于进行数字化处理和与计算机连接等优点，而在图象采集、非接触测量和实时 监控方面得到了广泛应用，成为现代光电子学和测试技术中最活跃、最富有成果的研究领 域之一【13】。 2 CCD传感器的检测原理 CCD是由光敏单元、输入结构和输出结构等部分组成的一体化的光电转换器件，其突 出特点是以电荷作为信号载体，其基本工作原理见【4，卯。 当入射光照射至lJCCD光敏单元上时，光敏单元中将产生光生电荷Q，Q与光子流速 率An。、光照时间Z、、光敏单元面积么成正比，即： Q=r／qAno彳瓦 (1) 其中叩为材料的量子效率；q为电子电荷量。CCD图像传感器的光电转换特性如图1 所示，其中横坐标为照度，Lx．S；纵坐标为输出电压，V。在非饱和区满足： 一30— ／(J)=d1S2+d2 (2) 式中，厂(J)为输出信号电压，V；S为曝光量，lx．s；d，为直线段的斜率，V／lx．S，表示 CCD的光响应度；丁为光电转换系数，f≈1；d，为无光照时CCD的输出电压，称为暗输 出电压。特性曲线的拐点占所对应的曝光量称为饱和曝光量，所对应的输出电压‰称 为饱和输出电压。曝光量高于后，CCD输出信号不再增加。可见，CCD图象传感器在非 饱和区的光电转换特性接近于线性，因此，应将CCD的：l：作状态控制在非饱和区。 j’ 3 CCD的应用状况 星v湖 CCD检测技术作为一种能有效地实现动态 蛹 跟踪的非接触检测技术，被广泛应用于尺寸、位 移、表面形状检测和温度检测等领域。 VD 3．1尺寸测量 由CCD传感器、光学成像系统、数据采集 S。 曝光量Lx．s 和处理系统构成的尺寸测量装置，具有测量精度 高、速度快、应用方便灵活等特点，是现有机械 图l CCD光电转换特性 式、光学式、电磁式测量仪器所无法比拟的。在 尺寸测量中，通常采用合适的照明系统使被测物体通过物镜成像在CCD靶面上，通过对 CCD输出的信号进行适当处理，提取测量对象的几何信息，结合光学系统的变换特性，可 计