多自由度同时测量方法的研讨.pdfVIP

多自由度同时测量方法的研究 王俊茹，陈本永。罗剑波 (浙江理工大学浙江杭州310018) 摘要t介绍现有的多自由度同时测量的方法。提出了一种六自由度同时测量的方案，并设 计了机床六自由度同时检测的系统。 关键词。多自由度同时测量技术 中图分类号TN247 文献标识码A 国家标准学科分类与代码420．60 l引言 随着现代工业技术的发展，机床已成为了现代制造业发展中的重要设备，随着新材料 和新加工工艺的出现，对机床的各项要求也越来越高，精密加工技术的迅速发展和零件加 工精度的提高，对机床的加工精度和稳定性提出了更高的要求，因而对机床的安装及其检 测技术的要求也提高了。大量统计资料表明：65．7％以上的新机床，安装时都不符合其技术 指标，90％使用中的机床处于失准工作状态，因此，对机床工作状态进行检测和校准是非常 重要的。在这种形势下，传统的测量工具及测量方法已经不能满足检测的需求。 机械产品的尺寸测量、设备性能检测是先进制造业的一项关键共性技术。随着机床工 业向高速化及高精度化发展，为满足高速切削的需求及精度的要求，目前常用的机床为高 精密五轴连动加工机床。目前五轴连动机床的精度可达到nm级，对机床的定位检测要求就 要更高。例如，杭州机床集团有限公司、宁波精密机床有限公司、浙江杭机设备有限公司 等单位的产品测量和制造设备检测均涉及到了多自由度同时进行的精密测量。例如，超精 密机床加工面形精度已达纠4一州10，其中A=632．8rim，表面粗糙度Ra已达纳米量级， 这就要求溺量仪器具有位移测量误差≤lOnm、测量分辨率≤5rim、角度测量分辨率≤10。 的能力。在没有高精度的测量仪器就无法实现这些精密机械产品和设备的技术提升与自主 创新。因此，多自由度同时测量已经成为制造业发展的关键技术之一，单一的位移或角度 测量不能满足现代制造业发展的要求。 2原理 2．1目前已有的多自由度测量方法中，基于干涉技术的多自由度测量方法，采用激光干 涉测量技术进行定位和测量，在光学测试技术基础上，加强了数据采集和处理功能，测量 步骤相对简单，精度较高，但是该方法单参数测量的特性就决定了其只能进行多自由度分 时测量，无法满足多自由度动态实时测量；基于光斑位置变化的多自由度测量方法，利用 被测物体的运动使得激光光斑在探测器上位置发生变化，并经过相应的数据处理，实现对 被测物体的多自由度测量，该方法可以实现发范围内动态物体的测量。但需要准确定位各 个光电器件的位置；基于衍射技术的多自由度测量方法，是利用全息技术分光，达到一束 基准光同时测量多个自由度的目的，分为利用全息反射和全息透射两种；干涉法和光斑位 置变化法混合使用的多自由度测量方法。是在光路中加多个分光元件。将单一激光束分为 多柬作为测量基准，干涉法和光斑位置变化法并用来得到每一束光的位移信息，实现各自 自由度偏差的测量。 现在最常用的机床检测方法是采用激光干涉的方法，采用先进的光学技术，简化了安 装过程，加强了数据采集和处理功能，使得测量较为简单，但其基本的测量过程并没有改 变。还是单参数测量。一般三轴加工设备总共需要检测2l项误差分量，安装一次仅测量一 项误差分量，其检测过程繁琐与漫长。因此，发展同时测量6自由度几何误差的激光系统 是机床行业面临的关键技术问题． 2．2 ^ 来自激光墨 霎 羹 弱接收量 B 佩振分光锭 图1激光干涉测量原理 传统的干涉光路返回位移测量原理：如图1所示双频激光器产生带有六．厶两种频率 的光束，经偏振分光镜分成两路：厶到达角锥棱镜B(被测量物)，由于角锥棱镜B的移 动产生拍频四，从而使返回光路频率为．，^工q；-，e经反射到达角锥棱镜A，然后平行 返回到偏振分光镜：两频率的光