哈特曼—夏克波前检测技术在镜面变形检测中的应用研究.pdfVIP

现代)i学gi1试技术 哈特曼一夏克波前检测技术 在镜面变形检测中的应用 史红民 倪受庸 付雷 陆耀东 (北京光电技术研究所 北京1oo+nn) 摘要:本文着屯分析 了哈特曼孔光姗彼前检测从哈特x 一夏克波11,1检测的括本原理ij灵 敏度分析，并用泽尼克多J}式重构波前，实现变形检测，巾1也介绍JH一 5传感粉和哈特处 传感器的棋拟试验结果，通过我的试验和分析，这两种系统对镜面变形检测是完全可行的.而 且各具优点， 关链词:哈特曼一旦克传感a.波前A构，泽尼克多项式。 一、引 言 波前传感器技术从数学模型上来看。主要可分为两大类川.一类是通过测量波前斜率 来获得波前相位信息，另一类是通过测址波前曲率来获得波前相位信息。剪切干涉法，哈 特曼一夏克 (Hartmann一Shack)法以及派生出来的其它方法属第一类;在点衍射干涉基 础上采用相移干涉技术发展起来的外差点衍射干涉波前传感器等属第几类。哈特曼法是德 因光学家哈特曼1900年首先提出来的，其测量原理十分简单，它通过模拟几何光学光线追 迹的方法可测量除畸变以外的各种几何象差，但这种方法的测量和计算十分费时，一般很 少采用。随着自动测u和计算机技术的发展，这种占老的测量方法又获得了新的生命力。 二、哈特曼波前检测原理 哈特曼光阑波前传感器，川主要由哈特曼光阑，观察屏和数据处理系统构成。哈特曼光 阑是一块开有许多按一定规律排列的小孔光阑;由于经典哈特曼法中观察屏上得到的光斑 直径比较大，光斑中心坐标的测量精度较低，而且只利用了光阑上开孔部分的光线，光能 损失较大。夏克 (R.K.Shack)于1971年对此方法作了改进，把哈特曼光阑换成一阵列透 镜，这样既提高了光斑质心坐标的定位精度，又充分地利用了光能，因此又称哈特曼一夏 克法W*或简称 “一5法.其基本原理 (如图一)是:傲光 (参考光)经扩束系统扩束并 准直后，照到待测镜上，反射后经缩束系统缩束并准直后，含镜面初始信息的参考光波到 达哈特曼光阑，光阑上每个小孔把波前分割成子波前，在观察屏上形成相应的光斑阵列， 每个光斑的质心作为参考位置.当镜面变形时，引起波前变化，在观察屏_L每一光斑质心 相对于各自参考质心位置将有一位移。 . 391 p 现代力学测试技术 缩 柬 系 统 -DIC )下 几止__ ______息计仃右L I8!、 哈特曼-夏克传SM进行镜面女形佼测的光跳图 的光敏面 匕经A/D转换后送入计算机，形成数字图象文件， 光斑落在CCD 图象进行高斯拟合。再运川亚象素法算出各个子孔径光斑的质心坐标，设位置 ( f孔对应的光斑在x，y方向的位移分别为△、Av，二设子孔径与屏之间的距离f，则子孔上波 前平均斜率，，，9.，，9、为 丛 f 丛 由此可求出崎变波前上被各阵列透镜分割的f 子孔径范围内波前的平均斜率。继而可求 得全孔径波前的光程差或位相分布。 三、波前重构 M鬓}tfaINtA;ttfG;JiiM}A}eVIggiur-rF-i1ii}IMttlftht7lA一nnqa-dJTgMiisf}cIi#El}