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光 电子 激 光 第 卷 第 期 年 月
13 12 2002 12
Journal of optoelectronics laser Vol. 13 No. 12 Dec. 2002
工艺误差对EDG 器件性能的影响9
文泓桥 石志敏 盛钟延 何赛灵 何建军
9 9 9 9
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 光及电磁波研究中心 浙江 杭州
( 9 9 310027D
摘要 定量地分析了蚀刻衍射光栅 波分复用 器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角 槽
: (EDGD (WDMD ~
面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能 特别是插入损耗的影响 当圆角半径 槽面倾斜角和粗糙
~ , ~
度分别为 和 时 相应产生的损耗为 和
1 pm~ 1 40 nm 9 1. 7 dB~ 0. 7 dB 1 dB,
关键词 蚀刻衍射光栅 工艺误差 插入损耗
: (EDGD ; ;
中图分类号:TN305. 7 文献标识码:A 文章编号:1005-0086(2002D 12-1219-04
Effects of Fabrication Errors on the Performance of an EDG Demultiplexer
- 9 - 9 - 9 - 9 -
WEN -ong giao S-I Zhi min S-ENG Zhong yan -E Sai ling -E Jian jun
( 9
State key laboratory for Modern optical Instrumentation Center for optical and Electromagnetic re-
9 9 3100279 D
search Zhejiang University -angzhou China
: ( D 9
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