[物理]第8部分 扫描电镜及透射电镜.ppt

电子显微镜Electron Microscopy 参考资料: 电子显微镜图象分析原理与应用 黄孝瑛著 宇航出版社 1989 79.871/14 电子显微镜的原理和设计 西门纪业，葛肇生编著 科学出版社 1979 79.871/2 电子显微镜的原理和应用 朱宜，张存 编著 北京大学出版社 1983 79.871/4 电子显微镜 朱祖福等编 机械工业出版社 1984 79.871/6 电子显微镜与超微结构 郭仁强编著 人民卫生出版社 1985 79.871/9 电镜的诞生与发展 1923 —— Louis De Broglie 指出：光、电子、质子均有波、粒二象性， 电子束可以代替光波成像 1926 —— H. Busch 提出：“轴对称磁场对电子束起透镜作用” 1932 —— 德国 Knollhe 和 Ruska 制成第一台 12 ×透射式电镜 1940 —— 英国剑桥大学制成第一台扫描式电镜 50年代末期起，我国也开始研制并生产电镜 80年代中期，我国开始引进生产国外高性能电镜 电镜与光镜的比较 信息载体的差异 ： 电子束 —— 可见光 透镜本质的差异 ： 电磁透镜 —— 玻璃透镜 工作条件的差异 ： 真空、水冷、高电压 —— 一般环境 放大率的差别 ： 100万 × —— 1000 × 分辨率的差别 ： 0.2 nm—— 0.2 μm 显像与观察方式的不同 ： 间接（荧光屏）—— 直接（镜筒） 分辨率 分辨率的定义 —— 设某成像装置所能区分开两点（或两条线）之间的最小距离为 δ ，则这一成像装置的最佳分辨率 d 即为 δ 。 分辨率 d 是衡量成像仪器的重要指标，也是各种因素的综合参数指征。 人眼睛的分辨率一般不高于 0.2 mm ( d ≈ 0.2mm ) 影响分辨率的主要因素 d = 0.612 ? λ / n ? sinα 光学阿贝公式 λ —— 光线或其他媒介（信息载体）的波长 n —— 透镜对光线或其他媒介的折射系数 α —— 入射孔径角 d ≈ λ / 2 Characterization Wavelength of x-ray: 0.5-2.5 ? (10-10m) Wavelength of light: 6000 ? Wavelength of electrons: 0.05 ? NOTE: 1 ?= 10-10m 1 nm= 10-9m=10? Characterization Wavelength of x-ray: 0.5-2.5 ? (10-10m) Wavelength of light: 6000 ? Wavelength of electrons: 0.05 ? NOTE: 1 ?= 10-10m 1 nm= 10-9m=10? 不同电磁波的波长对成像分辨率的限制 可见光：红、橙、黄、绿、青、蓝、紫 —— 波长 λ 大约在 0.78 ~ 0.39 μm ， 因此，光镜的最佳分辨率 d = 0.39 μm / 2 ≈ 0.2 μm 使用紫外光的荧光显微镜的分辨率可以更高一点 电子束的波长极短（ λ 1 nm ），考虑到其他制造技术和工艺的限制，电镜的分辨率也可以达到 d = 0.2 nm 以上 放大倍率 M 与分辨率 d 的关系 放大倍率 M = 像长 / 物长 但必须保证在一定成像质量的前提下才有意义 有效放大倍率 M = d（人眼）/ d（仪器） —— 即，相对于人眼睛的分辨率，仪器所能提高分辨率的倍率 光镜 M = d（人眼）/ d（光镜 ）= 0.2 mm / 0.2 μm = 1000 × 电镜 M = d（人眼）/ d（电镜 ）= 0.2 mm / 0.2 nm = 100万 × Resolution of Lens in Electron Microscope De Broglie relationship relates the wavelength of electrons, ?, to their momentum, mv (m is the mass and v is velocity), by h – Planck’s constant, such that: ……… 1 Since electrons are accelerated by a potential difference of V volts and have a kinet