广东省离子镀硬质膜的进步与展望研究.pdfVIP

第七届广东省真空学会学术研讨会论文集 广东省离子镀硬质膜的进步与展望 袁镇海 (广州有色金属研究院510651) 1丹IJ吾 近年来，广东省离子镀硬质膜有长足的发展，在镀膜设备升级、镀膜新技术的应用、镀膜 产品与新膜系及工艺的开发、膜层性能检测与质量管理水平都有很大的进步；同时，广东的硬 质膜市场日益扩大，且出现许多新产品领域，对膜层提出许多新要求，这给硬质膜业界带来新 的商机，但技术难度提高也给业界带来新的挑战。广东省离子镀硬质膜技术和产业如何迎接新 挑战?作者见闻敷浅，撰写拙文旨在抛砖引玉，望同行一起出谋划策，探讨开拓我省离子镀硬 质膜产业更快发展之路。 2镀膜设备的升级 2．1引进国外先进镀膜设备 省内先后引进了德国CemeCom公司、英国Teer公司和荷兰Hauzer公司的镀膜设备。 德国CemeCom的镀膜机用于工具镀膜，配干泵和分子泵抽气系统，中频磁控溅射矩形靶 四只，有辅助阳极加强等离子能量和浓度，以增强离子轰击清洗效果；Ti．A1靶采用Al小园块 嵌镶在Ti板制成，成本低。设备由计算机全自动控制。该设备连前清洗及其他辅助设备全套一 起引进，自己开发工艺。国内同类设备己引进五、六套。 英国Teer公司的镀膜机用于工具镀膜，采用封闭式非平衡直流磁控溅射技术，四只矩形平 面靶，设备所配系统、部件、仪器均用国际品牌、且附有20多种工艺软件。近期己进行多种膜 系和产品的开发和生产。该单位与英国Teer公司合作，由Teer公司提供镀膜机的核心部件和 技术，由国内制造其他部分。这种合作制造的模式有望使设备售价降半。 荷兰Huazer公司的镀膜机用于装饰镀，是大型设备。配有一对矩形电弧靶，用来镀ZrN 作底层，一对矩形磁控溅射TiAl靶，通入反应气体(氮、甲烷、氧等)，用于顶层调色。 上述所引进的先进设备，其所用的真空系统、电源、传感器、仪表、控制元件都是国际名 牌产品，计算机全自动控制运行，售价都在一千万元人民币上下。厂家巨资引进必然看到物有 所值。这些设备一定要造高价位高附加值的产品才能获得回报。 2．2国产高技术含量设备的应用 大家都清楚，镀膜设备的技术核心主要是蒸发器(电弧源)或溅射靶或离子源及与其配套的 电源和偏压电源系统，还有镀膜室的设计和整机的配置方案，各镀膜机制造厂商的技术积累决 定其水平高低。其实所配套的电源也多是外购或外协，至于真空系统、测量仪表、供气系统、 控制部件都是外购回来组装的。只要用户花得起钱，都可配上高级仍至国际品牌配套产品。国 10 广东省离子镀硬质膜的进步与展望 内一些设备制造商就是选走这样的路线，自己集中力量研发电弧源、溅射靶和离子源新技术产 品，争先开发出包含新技术的新机型，包括各种新技术的复合应用。在新研发的设备上，有的 采用了非平衡直流磁控溅射靶或中频溅射孪生靶，同时装有小园靶电弧源，有的则配有霍尔离 子源或阳极层离子源；有的采用柱状靶或矩形平面靶电弧源，再配柱状或平面磁控溅射靶；有 的真空系统配莱宝扩散泵或分子泵组；有的配套电源用AE产品；有的采用等离子体发射光谱 监控(PEM)供气系统：大多配计算机自动控制运行。这样的设备比以往的电弧、磁控溅射、电 弧加磁控溅射镀膜机的技术含量进了～步，造价也高得多。目前我省己进了五、六台，这些新 机型还处于试验性阶段，有的设计不尽合理，有的技术还欠成熟，有的镀某种镀层(如ZrN)有 良好表现，对镀其他镀层有局限性。这些设备的改进完善和工艺开发还要花些气力。 2．3合作开发升级设备 用户根据工艺新需求，参与确定镀膜机的配置和新技术应用的方案，与制造商合作研制， 有的甚至自行改装。 有人在八弧源的电弧镀膜机上配上四支弯管式磁过滤管，以消除电弧产生的大颗粒，镀镜 面光洁度的镀层，有很好的效果，但以牺牲沉积速率为代价，要增加多倍镀膜时间。 前几年，有的用户想抢先解决在表壳表带上镀高挡光亮的厚(l微米)TiN膜，与镀膜机制 造商联手开发新机型，有的上中频磁控孪生靶溅射(当时国内多数技术还不过关)，有的上电弧 加柱状靶溅射再加平面靶溅射，有的用热弧与电弧加溅射结合等。这反映了用户对提升技术的 需求和热忱，也反映了用户对镀膜技术认识的提高。这些合作开发有的成功了，有的走了弯路。 其中经验教训是必须选好合作方，合作方的技术水平和