以精密电解削锐轮磨及反应离子蚀刻之复合制程快速加工钻石膜之研究.PDF

行 精輪離 精 類 行 年年 行 禮 參理 林靖 論 理 利 年 年 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ ※ 以精密電解削銳輪磨及反應離子蝕刻之複合製程快速加工 ※ ※ 鑽石膜之研究 ※ ※ Development of a combined process of ELID-grinding and RIE ※ ※ for rapid removal of CVD diamond film ※ ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ 計畫類別：■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 95-2221-E-032-008 執行期間： 95 年 8月 1日至 96 年 7月 31日 計畫主持人：趙崇禮 共同主持人：馬廣仁 陳大同 計畫參與人員：霍正邦 林育靖 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 執行單位：淡江大學機電工程學系 中 華 民 國 96 年 9月 23日 1 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 以精密電解削銳輪磨及反應離子蝕刻之複合製程快速加工鑽石膜之研究 Development of a combined process of ELID-grinding and RIE for rapid removal of CVD diamond film 計畫編號： NSC 95-2221-E-032-008 執行期限： 95 年 8月 1日至 96 年 7月 31日 主持人：趙崇禮 淡江大學機電工程學系 中文摘要 process. Scanning electron microscope, 鑽石具有極佳的物理特性與化學特性 micro-Raman spectroscopy and α-step were used 如：高硬度、低摩擦係數、高熱傳導係數、良 to study the surface morphology and component analysis, respectively. From the results showed 好的機械強度、高光學穿透性。這些特性具有 that the micros