ESPA和LF10反渗透膜在半导体工业水处理中的应用研究.pdfVIP

ESPA和LF10反渗透膜在半导体工业水处理中的应用 闻 瑞 梅 中国科学院半导休研究所北京]ooos 摘要 本文研究了，以低压复合腆CPA2膜或N7R759膜，和超低压复合膜ESPA膜为例:它 们有大的比表面积，操作压力低，产水ti大，脱盐率，脱硅率高等优点.同时介绍了 ESPA超低压膜主要特点.文中还列举了超低压ESPA膜，和低压CPA2或NIR-759膜与 醋酸纤维以膜在操作压力、透过水t.脱盐率、脱硅率.去除内毒索的比较，并成功 的应用在机车电瓶用水、空间材料制备用水、化学试荆生产以及建材工业制板用水 上、效果很好.同时还介绍了LF10膜在废水处理中的应用 前言 化合物半导体材料和器件制备、需要高质量的高纯水、目前电子行业已广泛采用反渗 透技术，下面就如何选用更合理的反渗透膜，简述于下 众所周知，反渗透扭O)是一种在压力驱动下，借助于半透膜的选择截流作用将溶液中 的溶质与溶剂分开，低压复合膜川或超低压复合膜121，都是以水的透过速率大，脱盐率 高来衡量膜的好坏.而水的透过速率即水通量的大小与驱动压力成正比，如能达到一定 的水通量时，所需的驱动压力越低，则不仅降低能耗，同时也降低泵，压力容器及管材等设 备投资 例如在25℃下达到25.5L/M2-hr的产水通量,CA膜所需驱动压力为17-21bar,其脱盐率为 95%左右，而，C膜如CPA2或NTR-759低压膜驱动压力只需9bar，其脱盐率为99.5%，对 ESPA超低压反渗透膜其所需驱动压为3-5bar,脱盐率为99.7%,显然，低压和超低压膜 在同样压力下产水量大，例如在150psi下ESPA膜产水量高于其它膜50%以上.LFI。膜其 脱盐率和水通量均与NTR-759相近. 本文研究了CPA2,NTR-759HIR,ESPA和LF10低压和超低压膜在水处理中的应用 一，超低压卷式复合膜ESPA的主要特点[[3,41 1.与C人膜和低压复合膜相比，ESPA膜达到同样产水量时所需的操作压力大为降低，换 句话说在相同的操作压力下其产水量高出其它膜近一倍，见图一 测试条件:进水压力1.5Mpa,进水:0.15%食盐水，温度:25C 男 一 ︵ 惑 翩95二1。止{! ES10 O 翻 卿 (l。 : } { l }  1l 莺 BW:0!。 一{ { 。尸 1 一 } 0 20 40 60 80 产水虽 (二3/天) 图一C人膜、CPAZ、NTR目759HR、Bw3o低压膜与ESI、A超低压膜产水量的比较 由图一看出在压力一定时EZS。膜的产水量是PcAZ或NTR一579HR，BW3。膜产水量的 一倍，而PCAZ或Nl，R，759HR，Bw3。膜的产水量是cA膜的5倍，换句话说若同样的产 水量，则所需的操作压力要求低很多. 2，低压和超压膜，如NTR一795膜和EPsA膜脱除水中二氧化硅能力.均在97%以上，见 图二 侧试条件:进水将掖 5102浓度4工pp也，温度:81℃ ID0 豁 f 签 Q U n . 卜