EUVL工件台的结构设计与优化研究.pdfVIP

2005年12月 第十三届全一电子束·离子束·光子束学术年套 湖南·长沙 EUVL工件台的结构设计与优化 朱涛李艳秋 (中国科学院电工研究所，北京，100080) 摘要：作为极紫外光刻机的一个关键子系统，真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位 和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素。对于工件台的结构设计，体积小、 轻量化、好的散热性是基本要求。基于上述原因，本文设计了适用于45nm节点的极紫外光刻工件台系 统。并用ansys软件对其进行了结构仿真分析。根据仿真结果，提出了优化设计方案。； 关键词：极紫外光刻机。真空工件台，仿真，优化 1引言 真空工件台系统是极紫外光刻(EUVL)的一个关键子系统。与常规的精密工件台不同。EUVL工件 台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能对于光刻机的整机成像质量、套刻精度和 产率都有重要影响。此外，工件台的控制系统又是整机的控制主体，光裹Ⅱ机中几乎所有光机电部件控 制(如对准、快门、词平调焦、送片、环境及工艺等)都与工件台和掩模台的控制密切相关。这无疑使得 工件台的设计、制造、运动及环境控制的难度大大提高，尤其是工件台的结构设计和运动控制变得尤 为关键。 工件台的结构设计是否合理，在满足体积重量要求下是否具有足够的刚度，固有频率，及导向精 度等是衡量一个工件台设计的重要标准。因而需要应用CAD技术进行3D虚拟样机设计，并利用有限 元分析及受力计算，结构力学分析、动力学分析和仿真，减小运动件惯量，提高闭环刚度，减少振动，对 设计进行综合评价和优化。 本文针对极紫外工件台的技术特点。设计了一种精密磁悬浮工件台，并采用CAD技术对工件台 进行建模，并用ANSYS有限元分析软件进行仿真分析和优化。有效地改善工件台的性能，并成为控制 及测量系统设计的基础 2 EUVL工件台结构设计 现有的光刻精密工件台结构包括了多种设计方案：一种是采用传统的机械定位方式，即刚性接触 支撑和。旋转电机+滚珠丝杠”驱动方式定位。这种定位方式存在着很大的弊病，不仅产生摩擦、磨损、 金属粉尘，影响微电子产品质量，而且驱动件的质量惯性和连接间隙降低了设备的定位精度和响应频 率。另一种是采用气浮定位方式，虽然消除了摩擦，但结构庞大复杂，支撑刚度小，承载能力和抗冲击 能力降低，亦限制定位精度的提高。由于EUVL对于定位精度要苛刻要求(速度为250mm／s．加速度 为109)，以及光刻机行程和产率的需要，采用前两种方式无法避免的存在传动误差和行程缺陷，因而 选用粗微二级驱动的结构方式。 针对现有光刻精密工件台中存在的精度和行程之间的矛盾，以及振动冲击、导线拉力等问题，我 们设计了一种适用于极紫外光刻真空环境作业的高精度长行程精密定位工件台，不仅可以实现扫描 曝光过程所需的步进扫描运动，而且能提高机构的精度和稳定性。 基金项目：国家973项目(2003CB716204) 一305一 2005年12月 第十三届全国电子柬·离子柬·光子束学术年会 湖南·长沙 工件台具有6自由度，利用精密磁悬浮导向机构，主要包括微定位平台组件，粗定位平台组件和 基座组件等元件。其中：基座组件位于最底部，粗定位平台组件位于基座组件正上方，可以相对基座沿 Y方向移动，基座通过磁悬浮导轨支撑粗定位平台组件。微定位平台组件位于粗定位平台组件正上 方，由粗定位平台组件通过磁悬浮导轨支撑，可以相对粗定位平台组件沿x方向移动。 工件台底座是大理石，并应用了主动隔振装置。可以有效隔离外界的振动。内部减振则设计了一 种平衡随动装置，电机作长行程运动时，随动装置产生与电机反向的运动。以抵消由电机运动所产生 的振动。传导和辐射是真空工件台的主要散热方式．因而，工件台的散热主要利用这两种方式，并使用 低膨胀材料，以降低热变形的影响。控制补偿是通过检测关键部件的振动和热变形，或对这些变形进 行精确建模，作为控制系统的一个反馈环节，用于校正系统的输入。(图1) 3工件台结构仿真 3．1几何模型 创建几何模型是ansys仿真分析的基础，它关系着以后各项工作的成败。对于工件台来说，建模主 要包括以下几个步骤： 用solidwork首先对各个零件建立参数化三