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TSP Glass 在B lin进行时背面损伤报告
* TSP Glass 在B line进行时 背面损伤报告 CF技术部 张康 康玉龙 2012.02.03 实验过程 Contents 总叙 图解 照片 1 2 3 4 分析总结 5 B line新增划伤总叙 4 延Glass长边方向两条贯穿划线 1 2 3 5 延Glass短边方向的短划线 Oven的Robot Pad印记 延长边方向的微量短划线 划伤描叙 严重 圆圈状Robot Pad印记 Oven Robot pad所产生 一般 偶尔发生 延短边方的短划线 AOI的Roller所产生 延长边方向的短划线 EXP的Laodunload的Roller产生 最严重 延Glass长边,距边沿195mm,的两条贯穿划线 PP和Developer的Roller产生,前工艺就存在，进行完B后加重 195 195 170 165 17 260 260 260 210 165 165 450 120 210 485 240 B line产生划伤图解 195 195 30 30 170 165 120 120 17.5 260 260 260 210 165 165 450 120 210 485 240 130 125 125 所有划伤图解 B line前划伤图解 195 195 30 30 120 120 165 165 450 130 125 PP以及Developer产生的划伤图解 195 195 Oven Robot产生的划伤图解 170 165 165 165 120 170 120 165 165 165 AOI产生的划伤图解 450 210 485 240 17.5 EXP Roller产生的划伤图解 260 260 260 实验过程 Glass(FC-0146) 进行条件 2011.01.07 Slot F 1.PP进，EXP前拿出 2.检查Macro并与进行前比较 Slot G 1.EXP Loader放，Unloader取出 2.检查Macro并与进行前比较 Slot H 1.DEV入口放，出口取出 2.检查Macro并与进行前比较 Slot J 1.AOI前CV放，Inspection后取出 2.检查Macro并与进行前比较 2011.02.03 Slot R; Slot S 1.全线进行 2.检查Macro并用Mark笔标记 3.在跑全线,每个设备对照已标记划伤 PP Roller与红色标记划伤重合 EXP Roller与红色标记划伤重合 Developer与红色标记划伤重合 AOI Roller与红色标记划伤重合 Oven Robot与红色标记划伤重合 Remark: Glass 在下手臂 TSP在B-Photo scratch的分析 投入前已经在前工序造成横线贯穿轮印，B后加重 Oven Robot Pad对Glass的影响 EXP、AOI短横、竖划伤 涉及设备多、位置固定、改善难度大 位置固定、调整吸真空压力 偶发、多跑片观察规律、频率 BOECD CF Team * * * * * * *
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