FeN薄膜的铁磁共振研讨.pdf

Fe-N薄膜的铁磁共振研究 姚振枉 刘志凯 江海 秦复光 张建辉 中国科学院半导体研究所 (北京，100084 ‘ 朱生传 孙允希 北京大学物理系 (北京，100871 摘要一利用离子束辅助沉积法，在Si(100)基片上制备了三种 Fe-N薄膜(到达比N/Fe =0.09,。12,0.15，包括Fel6N2).对这三种Fe-N薄膜，用铁磁共振测定饱和磁化强度 和铁磁共振线宽，结合磁性侧量、电镜观察等物理手段的实验结果，进行综合分析. 1.引言 Fe-N薄膜 (特别是Fe16N2薄膜)由于优良磁性而引起人们的重视.对它的研究具有重 要的理论意义和实用意义 1【-3]. 我们发表过一系列关于利用离子束辅助沉积法合成的 }rl Fe-N薄膜的结构和磁性的研究文章 [4-6].本文着重介绍Fe-N薄膜的铁磁共振研究的实验 结果和综合分析. 文献[2-31利用铁磁共振研究了Fel6N2单晶薄膜的9因子和磁晶各向异性，我们在本文 中对三种Fe-N多晶薄膜 (不同N/Fe值，包括Fe16N2)，利用铁磁共振测定饱和磁化强度 和铁磁共振线宽，结合磁性测量、电镜观察等物理手段的实验结果，进行分析研究. 2.测量原理 对于Fel6N2单晶薄膜[2-3]，三个易轴的铁磁共振关系式为 7「]: [001]:。厅 =H,+Hkl一42tM, 沁 [100]:(w/Y)，一H,‘+Hk2)(H,一Hk，十4r7tM,) (110]:(。嘴=(H一Hk2)(H:一Hkl+47EM:一0.5H,) 其中，0为微波圆频率，Y为旋磁比，H,为共振磁场，Hkl为单轴各向异性场，Hk2为 平面各向异性场，M:为饱和磁化强度.由这三个关系式，可以确定9因子、Hk2和 (likl- 4nM,)，再确定Hkl(已知47cMs)或47[M,(已知Hki). 对于Fe-N多晶薄膜，在外磁场平行膜面情况下，铁磁共振关系式为: (o)/y)=HRH,+4nMs) .， 利用上式，在两个微波频率情况下，可以同时确定9因子和47EMs;在一个频率情况下， 已知9因子，可以确定4a城.. 3.实验 利用离子束辅助沉积法，在s1(100)基片上制备了三种Fe-N薄膜(到达比N/Fe=0.09, 0.12,0.15).通过俄歇电子能谱仪和x射线衍射仪分析薄膜成分和结构，振动样品磁强计侧 量磁学性质，铁磁共振确定饱和磁化强度和铁磁共振线宽，电子显微镜观察表面结构和电 子衍射图.结果表明:相应于到达比N/Fe=0.12的薄膜为Fe,浏2膜，三种薄膜均为多晶膜. 浏 4.实验结果和分析 在 x波段和TE102矩形腔进行铁磁共振侧量，实验结果如表1所示.磁性测量的实验 结果如表2所示. 现在对实验结果做一些说明和分析: (1)对多晶薄膜样品，在一个频率情况下，已知g因子，可以确定41cMs.已知Fei6N2 单晶薄膜的9因子为:9二2.0(外磁场10KOe)[2]，和g=2.17(外磁场60KOe)[3], 根据我们的实验情况，外磁场不大于10We，在计算4icM，时取g=2.0(见表1). 月喇 (2)由FN2薄膜的X射线衍射谱表明，其主要成分为Fe,6N2,FN2样品的41CMs为 24.5KGs(见表2)，而文献[3]给出Fe,6N2单晶单相薄膜的4nMs为29KGs,Fe薄膜的4nMs 为21KGs.可见 FN2样品的饱和磁矩，比Fe大，但略小于单晶单相薄膜，这可用多晶膜 和存在另相来解释. (3)三种Fe-N薄膜的铁磁共振线宽，以FN2(即Fei6N2)样品为最小，176Oe;而 FNl和FN3样品的线宽 (531Oe,664Oe)却大得多.除了样品成分不同外，气孔和杂质 是不可忽略的因素.电镜观察表明，FN2样品表面晶粒均匀致密，而FN1和FN3样品表面 具有较多的气孔和杂质.