真空镀膜-深圳大学材料教学中心.docVIP

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2018-01-15 发布于天津
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真空镀膜-深圳大学材料教学中心.doc

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真空镀膜实验一实验目的真空镀膜技术广泛地应用在现代工业和科学技术中光学仪器的反射镜增透镜激光器谐振腔的高反射膜计算机上存储和记忆用的磁性薄膜以及材料表面的超硬薄膜此外在电子学半导体等其它各尖端学科也都采用了真空技术本实验的目的是学习真空蒸发镀膜技术通过本门实验要求学生掌握如下几点较系统了解真空镀膜仪器的结构了解真空系统各组件的功能了解石英晶体振荡器测厚原理掌握真空蒸镀的基本原理了解真空镀膜仪器的基本操作二预习要求要求学生在实验之前对真空系统有一定了解可以通过以下几本相关书籍获得相关信息薄膜材料制

真空镀膜实验一、实验目的真空镀膜技术广泛地应用在现代工业和科学技术中，光学仪器的反射镜，增透镜，激光器谐振腔的高反射膜，计算机上存储和记忆用的磁性薄膜，以及材料表面的超硬薄膜。此外在电子学、半导体等其它各尖端学科也都采用了真空技术。本实验的目的是学习真空蒸发镀膜技术。通过本门实验，要求学生掌握如下几点：①较系统了解真空镀膜仪器的结构；②了解真空系统各组件的功能；③了解石英晶体振荡器测厚原理；④掌握真空蒸镀的基本原理；⑤了解真空镀膜仪器的基本操作。二、预习要求要求学生在实验之前对真空系统有一定了解，可以通过以下几本相关书籍获得相关信息。《薄膜材料制备原理、技术及应用》—— 唐伟忠著，