Si3N4纳米线的热力学稳定性.PDFVIP

聚硅氮烷制备非氧化物材料的研究进展1 王华涛，谢志鹏* 清华大学材料科学与工程系，新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京（100084 ） E-mail：xzp@ 摘 要： 本文概述了聚硅氮烷制备非氧化物材料近年来的研究进展，介绍了聚硅氮烷前驱 陶瓷的组成、结构和性质，块体材料的制备以及该领域最新发展的MEMS 制备技术和低维 纳米Si3N4 材料制备技术。 关键词：聚硅氮烷 非晶SiCN 低维纳米材料 中图分类号：O78 晶体生长 1. 引 言 随着工业的发展，一些高温场合对材料的性能提出了原来越苛刻的要求，如航天飞行器、 涡轮机、高效换能器等。要求材料不但具有良好的高温稳定性、化学稳定性和优良的力学性 能，而且要求器件的形状越来越复杂，有的甚至越来越微型化。聚合物前驱陶瓷因其自身的 [1-3] 特点正好满足这一需求，吸引了越来越多的注意，成为材料领域的一个重要研究方向 。 用有机聚合物制备陶瓷材料始于上世纪六十年代。1974 年，德国人 Wolfgang Verbeek 用自制的聚硅氮烷制得 SiCN 纤维，这是聚硅氮烷制备陶瓷的首次应用[4] 。因其制备的 SiCN 纤维强度更大，抗氧化性更好，掀起了合成陶瓷纤维的热潮。1976 年 Yajima 用聚碳硅烷制 得 SiC 纤维并用于生产[5] 。当时的研究工作主要集中于各种聚硅氮烷的合成。八十年代，大 部分研究工作集中于 SiC 和 Si3N4 纤维的制备，及其拉丝技术。九十年代，用聚硅氮烷合成 SiCN 非晶陶瓷和 Si N /SiC 复合材料，引起人们更大的关注。这是因为 SiCN 非晶陶瓷的高 3 4 [6] 温稳定性和抗氧化性好，可耐 1400℃的高温，通过掺入 B 可进一步提高到 2000 ℃左右 。 另一方面 Si N /SiC 复合材料的力学性能优异，其断裂韧性和高温稳定性比单一的 SiC 和 3 4 [2] Si3N4 都好 。近年来，Liew 等用聚硅氮烷制备了各种微机电零部件（MEMS ），为制备应用 于高温场合的 MEMS 提供了很好的途径[7-9] 。聚硅氮烷前驱陶瓷以其强大的生命力越来越受 到人们的重视。 聚硅氮烷前驱陶瓷具有如下优点：1. 良好的高温稳定性、抗氧化性和抗蠕变性；2.制备 温度相对较低，1000℃左右；2.能够制备纤维、涂层、薄膜以及各种形状复杂的器件和微器 件；3.可以在原子尺度控制材料的组成，得到所需性能的三元或多元系统。 下文将着重介绍聚硅氮烷前驱陶瓷（非氧化物）的组成、结构和性质, 块体材料的制备 工艺, 以及该领域的最新发展，包括微机电器件（MEMS ）和各种纳米低维材料的制备。 2. 聚硅氮烷前驱陶瓷 SiCN 的组成、结构和性质 2.1 聚硅氮烷前驱陶瓷 SiCN 的组成 惰性气氛中，在800-1200℃热解聚硅氮烷可得非晶SiCN陶瓷。表1列出了不同种聚硅氮 烷在典型的热解条件下所得非晶SiCN陶瓷的组成[3] 。组成中以Si、C、N 为主，还有少量的O 和H 。因为O和H 的含量很少，一般情况下用可以用Si C N 来表示总的组成。 3+x x+y 4 1 本课题得到教育部高等学校博士学科点专项科研基金（项目编号：20050003004 ）和国家自然科学基 金（项目编号：50540420104 ）的资助。 - 1 -