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两种非球面面形的光学测量方法研究-中国机械工程
两种非球面面形的光学测量方法研究———朱勇建 尹韶辉 盛晓敏等
两种非球面面形的光学测量方法研究
朱勇建 尹韶辉 盛晓敏 唐 昆
暋
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湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 长沙 410082
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摘要 采用结合四步相移的条纹投影法 实现了物体三维轮廓的测量 把计算机产生的干涉条纹作
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为投影源 在实验中采集 幅相移条纹图 利用所提出的相位重建算法 基于离散余弦变换的快速相
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, 。 ,
位重建算法 得到了物体的三维尺寸 设计了新的径向剪切式同步相移干涉仪 该干涉仪采用 块雅敏
2
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平板 利用偏振光干涉原理实现了 幅条纹图的同步采集 可对不同口径的非球面面形进行测量 并能
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, , / 。
避开振动的影响 抗干扰能力强 其理论精度可达到波长的1100
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关键词 非球面测量 条纹投影 剪切干涉 相位重建
中图分类号: 文章编号: — ( ) — —
TH911.74暋暋暋 1004 132X200903 0271 05
ResearchonTwoO ticalMethodsforAshericMeasurement
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AbstractTorealizethe3D rofilometr afour-ste haseshiftin methodinteratedwith
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