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底座激振下微型叠层芯片共振频率检测-中国科技论文在线
中国科技论文在线
振 动 与 冲 击
31 7 JOURNAL OF VIBRATION AND SHOCK Vol． 31 No． 7 20 12
第 卷第 期
底座激振下微型叠层芯片共振频率检测
，
韩 雷 严国政
( ， 4 10083)
中南大学 机电工程学院 长沙
摘 要: ， 。 、
为测试微悬臂芯片的动态特性 建立以压电陶瓷为激振底座的测试系统 采用白噪声 稳态正弦和快速
正弦( ) ， 。
啁啾信号 扫频方式激励微叠层悬臂芯片 由多普勒测振仪测试芯片动态响应 通过分析压电陶瓷阻抗变化与芯
， ，
片动态响应 获得的频率对应于压电陶瓷激振器所激励叠层芯片的一阶共振频率 可作为微结构和器件动态分析的测试
方案。
: ; ; ; ; ;
关键词 压电陶瓷激振器 底座激振 多普勒测振仪 阻抗分析 叠层芯片 共振频率
中图分类号:TB52 + 3 文献标识码:A
Resonant frequency measurement for a micro stacked chip with base excitation
HAN Lei ，YAN Guo-zheng
(College of Mechanical ＆ Electrical Engineering ，Central South University ，Changsha 4 10083 ，China)
Abstract : A piezo-actuator was used as a base excitation for measuring dynamical characteristics of a micro stacked
chip． White-noise ，steady － state sinusoidal and fast sine sweep (chirp)excitations were used to excite the stacked chip．
Vibration of the chip was recorded by using a Laser Doppler Vibrometer (LDV)． By analyzing the changes in impedance of
the actuator and the dynamic responses of the chip ，the obtained peak frequency agreed well with the first resonant
frequency of the stacked chip． This provided a testing scheme for dynamical analysis of microstructures and
microcomponents．
Key words :piezo-actuator ;base excitation ;laser doppler vibrometer ;impedance analyzer ;stacked c
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