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提高平行光管分划板装调精度新方法研究
第 卷 第 期 ,
l.34 No.9
34 9 光 学 学 报 Vo
年 月 ,
2014 9 ember 14
Set 20
TAOPTICASINICA p
AC
提高平行光管分划板装调精度新方法研究
何 煦 吴国栋*
( , 长春 )
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林 130033
( ) ,
摘要 推导了分划板失调量与待测系统调制传递函数 MTF 下降之间的解析表达式 对光管和待测系统焦距比与
, ,
分划板装调精度之间的数学关系进行仿真分析 发现焦距比为 分划板轴向装调误差为 引起的待测
1 0
.
0012 mm
系统 。 , 、
MT 下降为 据此提出依据 系数定量指导装调 采用数字干涉仪与平行光管 分划板构成干涉
F 0.01 Zernike
。 , ,
光路进行逐次迭代调整的方法 实验与数学分析均表明 上述方法可显著提升分划板装调精度 其引起的探测器
离焦导致的 。 ,
MT 下降可控制在 0. 实验结果与理论值之间的偏差表明 环境扰动等不确定度对标定精度产
F 013
, ,
生影响 在测试环境良好的条件下采用上述装调方法 使用焦距与待测光电系统焦距相当的平行光管就可满足高
精度光学标定与装调的测试需求。
; ; ; ; ;
关键词 测量 光学检测 装调与标定 猫眼干涉法 平行光管 分划板
中图分类号 O 文献标识码
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