浅谈先进陶瓷的旋转超声加工方法-天津大学研究生e-Learning平台.docVIP

浅谈先进陶瓷的旋转超声加工方法 邱 爽 天津大学机械工程学院机械工程专业2012级硕士生 摘要：先进陶瓷材料因其具有高硬度、高强度、高耐磨性和高耐腐蚀性等特性在尖端科学技术领域得到越来越广泛的应用。因为先进陶瓷脆性大，加工中容易崩碎、出现裂纹，影响其表面质量和使用性能。而切割加工作为先进陶瓷制品加工流程中的第一道工序，其加工质量对后面的磨削、研磨及抛光的效率和成本有着很大的影响。针对先进陶瓷切割过程中存在切割力大、金刚石砂轮磨损严重及加工效率低等问题，本文综述介绍了先进陶瓷的一种高效的加工方法-旋转超声加工。相比较普通超声加工，旋转超声加工无论从加工成本的降低上还是加工效率的提高方面都有及大的改进。 关键词：先进陶瓷 旋转超声 脆性 0 前言* 先进陶瓷，是指具有特殊的电子学、声光学或者磁性和热学性能以及高的机械强度等力学性能的陶瓷材料。先进陶瓷材料主要有功能陶瓷和结构陶瓷两大类。结构陶瓷主要是以利用机械强度和形状为主要目的的瓷材料，功能陶瓷包括具有特殊的光、电、磁、声、热等物理学性能的陶瓷材料，例如电子陶瓷、隔热陶瓷、磁性陶瓷、微波陶瓷等[1]。 先进陶瓷材料具有许多优异性能，例如，高的硬度和强度，耐腐蚀、耐磨损及耐高温能力强，热传导系数和热膨胀系数低以及良好的化学惰性。因此先进陶瓷在航空航天、化工、军事、机械、电子电器以及精密制造领域正得到日益广泛的应用。 先进陶瓷材料种类繁多,其制造工艺也多种多样，但先进陶瓷制造过程一般是将粉末原料进行冷压成型高温烧结或热压烧结后再加工成制品，通常可以概括为四个阶段：配料-粉末成型-烧结-加工。先进陶瓷在烧结过程中通常会有不同程度的收缩，引起制品的尺寸偏差和变形，将先进陶瓷作为结构材料特别是机械结构互相配合使用时，就必须对烧结后的先进陶瓷制品进行加工，以达到满足使用要求的尺寸和形状精度以及加工表面的完整性[2]。 1 国内外旋转超声钻削研究的发展 旋转超声加工的最大应用领域依然是孔加工，即旋转超声钻削（Rotary Ultrasonic Drilling，简称RUD）。在二十世纪60年代中期，英国原子能机构发表了一些有关旋转超声钻削研究成果。继英国之后，苏联、美国、日本等国对旋转超声钻削进行了研究[3]。60年代末，苏联的莫斯科航空研究所对旋转超声钻削进行了研究，并公布了研究成果。70年代，美国开始出现有关旋转超声钻削的研究报告[4]。70年代日本和苏联对旋转超声钻削中加工参数的影响展开了研究。90年代，美国伊利诺依大学对旋转超声钻削展开了研究。 我国对旋转超声钻削的研究始于二十世纪的80年代。90年代开始，哈尔滨工业大学、西南交大、天津大学、四川大学、太原理工大学等高校对旋转超声钻削进行了研究[5]。 加工方法介绍 2.1 超声加工 磨削加工是一种加工先进陶瓷材料的最常用的加工方法。在先进陶瓷磨削加工中，由于先进陶瓷的硬脆性，工件材料容易出现棱角崩裂、表面龟裂以及皮下损伤等缺陷。并且，先进陶瓷磨削加工的加工成本高，一些高精密先进陶瓷元件的加工成本甚至占总成本的90%。先进陶瓷的推广使用迫切需要寻找高效率低成本的加工方法。 超声加工被认为是仅次于磨削加工的最常用于先进陶瓷材料加工的一种加工方法。图1是超声加工的原理图。超声加工中，高频电能通过转能器转化为机械振动，并通过变幅杆将机械振动进行放大，最终导致工具以高频(通常大于20千赫兹)、振幅为5-50um的轴向方向的振动。一可控静态载荷加于工具和磨料浆，工具的振动导致工具和工件之间的磨料浆的磨料以微碎片的形式去除工件材料[6]。 图1 超声加工示意图 相对于陶瓷加工的其它加工方法，超声加工具有的加工优势有： (1)超声加工适合加工各种硬脆材料。与电火花加工等加工方法相比，超声加工适用的工件范围广。超声加工可以加工导电性和非导电性脆性材料，特别适用于加工低塑性和硬度高于40HRc的材料，例如无机玻璃、氮化硅、镍钦合金等材料。 (2)超声加工不会引起热影响区域，因此不会改变工件表面的化学/电性质，而这样的转变在电火花加工、激光束加工以及其它传统的加工方法里是无法避免的。 (3)超声加工后的工件表面的薄层残余压应力能够提高工件的循环疲劳强度[7]。 (4)由于靠磨料瞬时撞击来去除材料，故加工精度和加工表面质量都比较好。与其它材料去除过程相比，超声加工的加工精密更高。在大多数超声加工中,可以获得的工件平均表面粗糙度是0.50um。使用合适的加工参数，超声加工可以获得0.25um的表面粗糙度。超声加工可以加工的最小孔尺寸为76um。超声加工的加工效率虽然比电火花加工低，但其加工精度和表面粗糙度都比它们好。因此，一些高精度的模具等常用电火花进行粗加工和半精加工后，再用超声加工进行精加工。 (5)超声加工可以加工复杂三维轮廓的工件，其加工速度