原创力文档- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能精选
物理化学学报(Wuli Huaxue Xuebao)
August A cta Phys. Chim. Sin., 2009, 25(8) ：1523-1529 1523
[Article]
纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能
继然1,* 胡 明1 王晓东2 李贵柯3 季 安2 杨富华2
刘 剑3 吴南健3 陈弘达4
1 2
( 天津大学电子信息工程学院, 天津 300072; 中国科学院半导体研究所, 半导体集成技术工程研究中心, 北京 100083;
3 中国科学院半导体研究所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京 100083;
4 中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083)
摘要： 采用双离子束溅射方法在Si N /SiO /Si 基底表面沉积氧化钒薄膜, 在氮气气氛下热处理获得二氧化钒
3 4 2
薄膜. 利用X 射线衍射(XRD) 、扫描电子显微镜(SEM)和X 射线光电子能谱(XPS)研究了热处理温度对氧化钒薄
膜晶体结构、表面形貌和组分的影响, 利用傅里叶变换红外光谱(FT IR)对二氧化钒薄膜的红外透射性能进行了
测试分析. 结果表明, 所制备的氧化钒薄膜以非晶态V O 和四方金红石结构VO 为主, 经400 益、2 h 热处理后
2 5 2
获得了(011)择优取向的单斜金红石结构纳米VO2 薄膜, 提高热处理温度至450 益, 纳米结构VO2 薄膜的晶粒尺
寸减小. FT IR 结果显示，纳米VO2 薄膜透射率对比因子超过0.99, 高温关闭状态下透射率接近0. 小晶粒尺寸纳
米VO2 薄膜更适合在热光开关器件领域应用.
关键词： 双离子束溅射; 纳米二氧化钒薄膜; 透射率
中图分类号： O648; O484; TB43
Fabrication and Infrared Optical Properties of Nano Vanadium
Dioxide Thin Films
LIANG Ji Ran1,* HU Ming1 WANG Xiao Dong2 LI Gui Ke3 JI An2 YANG Fu Hua2
LIU Jian3 WU Nan Jian3 CHEN Hong Da4
1
文档评论（0）