材料方法-第9章-新型显微技术-SPM-2010.ppt

2、可实时地空得到实时间中表面的三维图像，可用于具有周期性或不具备周期性的表面结构研究。 应用：可用于表面扩散等动态过程的研究。 （3）样品 样品需要先处理成针状，针的末端曲率半径约在200-1000埃。(1埃 = 10-10公尺)把样品置于真空极佳的空间中，藉由和低温物的接触将其温度降到液态氮的温度以下。在空间中放入成像气体，可能为He、Ne、Ar等气体，视不同样品而定。 * 扫描探针显微镜（SPM） 场离子显微镜（FIM） 第9章 新型显微分析技术 1933年 电子显微镜 Ruska Knoll 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 场电子显微镜 场离子显微镜 低能电子衍射 光电子能谱 电子探针 1、表面结构分析仪器的局限性 低能电子衍射和 X射线衍射 光学显微镜 和 扫描电子显微镜 高分辨透射电子显微镜 场电子显微镜 和 场离子显微镜 X射线光电子 能谱 样品具有周期性结构 不足分辨出表面原子 用于薄层样品的体相和界面研究 只能探测在半径小于100nm的针尖上的原子 结构和二维几何性质，且制样技术复杂 只能提供空间平均的电子结构信息 扫描隧道 显微镜 1982年 人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质，在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广阔的应用前景，被国际科学界公认为八十年代世界十大科技成就之一。 扫描探针显微镜 （SPM） 扫描力显微镜（SFM） 扫描近场光学显微境（SNOM） 弹道电子发射显微镜（BEEM） 原子力显微镜（AFM） 扫描隧道显微镜（STM） 2、扫描隧道显微镜（STM） （1） 隧道效应 根据量子力学，粒子可以穿透比它的能量E更高的势垒V0，这种现象称为隧道效应。其透射系数 隧道效应示意图 O a x V V0 由于电子的隧道效应，金属中电子云密度并不在表面边界处突变为零。在金属表面以外，电子云密度呈指数衰减，衰减长度约为1nm。用一个极细的、只有原子线度的金属针尖作为探针，将它与被研究物质(称为样品)的表面作为两个电极，当样品表面与针尖非常靠近(距离＜1nm)时，两者的电子云略有重叠。 图2 金属表面与针尖的电子云图 （2）隧道电流的产生 当样品与针尖的距离非常小（通常小于1nm)时,在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极，隧道电流I是针尖的电子波函数与样品的电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间距离S和平均功函数Φ有关 V0是加在针尖和样品之间的偏置电压， ， Φ1和Φ1分别为针尖和样品的功函数 A为常数 （3）样品表面的扫描 隧道电流 I 对针尖与样品表面之间的距离 S极为敏感，如果 S 减小0.1nm，隧道电流就会增加一个数量级。当针尖在样品表面上方扫描时，即使其表面只有原子尺度的起伏，也将通过其隧道电流显示出来。借助于电子仪器和计算机，在屏幕上即显示出与样品表面结构相关的信息。 （4）STM的结构和工作模式 STM的结构 3、原子力显微镜（AFM）的原理 当探针与样品表面间距小到纳米级时，按照近代量子力学的观点，由于探针尖端的原子和样品表面的原子具有特殊的作用力，并且该作用力随着距离的变化非常显著。当探针在样品表面来回扫描的过程中，顺着样品表面的形状而上下移动。独特的反馈系统始终保持探针的力和高度恒定，一束激光从悬臂梁上反射到感知器，这样就能实时给出高度的偏移值。样品表面就能记录下来，最终构建出三维的表面图。 原子与原子之间的交互作用力 因为彼此之间的距离的不同而有所不同，其之间的能量表示也会不同。 原子间范德华力 在原子力显微镜的系统中，是利用微小探针与待测物之间交互作用力，来呈现待测物的表面之物理特性。所以在原子力显微镜中也利用斥力与吸引力的方式发展出两种操作模式：???????（1）利用原子斥力的变化而产生表面轮廓为接触式原子力显微镜（contact AFM），探针与试片的距离约数个?。???????（2）利用原子吸引力的变化而产生表面轮廓为非接触式原子力显微镜（non-contact AFM），探针与试片的距离约数十到数百?。 硬件架构：在原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。 4、扫描探针显微镜的特点 1. 分辨率高 HM：高分辨光学显微镜；PCM：相反差显微镜；(S)TEM：（扫描）透射电子显微镜；FIM：场离子显微镜；REM：反射电子显微镜 横向分辨率可达0.1nm 纵向分辨率可达0.01nm 3、可