压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响研究.pdf

第 24卷第 6期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．24，NO．6 2012年 6月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAMS Jun．，2012 文章编号 ： 1001—4322(2012)O6—1295—06 压 电驱动器布置对光栅拼接误差的影响 张军伟 一， 陈 伟 ， 周 忆 ， 王 逍 ，周 海 ， 刘朋威 ， 黄金勇 (1．中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 ，四川 绵阳 621900； 2．重庆大学 机械工程学院，重庆 400030) 摘 要 ： 分析 了两种光栅拼接调整机构 (三角形和 L形)，利用有限元分析软件对这两种光栅调整机构 进行 了模态分析和优化分析设计 。相 同光栅尺寸下 (以口径为 450mill×420mill×60mm光栅为例)，驱动器 三角形分布的固有频率与 L形分布的固有频率相差无几 ，一阶频率分别为 58．816Hz和 58．864Hz。对两种 驱动器布置方式引入的误差进行 了分析比较 ，计算结果表 明：三角形调整机构的最大误差 比L形的大，同时三 角形分布控制算法较 L形的复杂 。在主动控制 中三角形模型误差迭代次数多，不利于控制 。因此 L形的压 电 驱动器布置方式优于三角形 。 关键词 ： 光栅拼接 ； 优化分析 ； 误差分析 ； 调整机构 ； 压 电驱动器 中图分类号 ： TL632 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP1295 近年来 由于啁啾脉冲放大 (CPA)技术的应用 ，使得获得更高能量 、更高强度的超短脉冲激光成为可能，光 栅 的损伤阈值和 口径是限制装置输出能力 的主要瓶颈。受材料 、镀膜技术的限制 ，光栅损伤阈值不能大幅度提 高，增大光栅 口径成为提高高能短脉冲激光装置输出能力的必然选择口]。为获得数 kJ甚至更高能量 的输出， 需要 rrl量级的大 口径光栅 ，但 由于大面积曝光 、大面积刻蚀及大面积均匀镀膜等工艺技术上的困难 ，大 口径光 栅不仅价格高昂且不易获得 ，并且随着光栅 口径的增大，其制造和使用过程 中的面形将变得难以控制 ，即使是 超过 900ITlm 的光栅也常常不能满足高能短脉冲激光装置输出能力的需要 ，日本 FIREX—I装置上最大 口径的 压缩光栅就由美国提供的 910mrn×420mm 的光栅两两拼接而成_l2]。光栅拼接技术的出现给增大光栅 口径 带来 了一种新的技术选择，光栅拼接是将两块 以上的小光栅拼在一起作为一块大光栅使用 ，实现单一大光栅的 功能，以克服光栅 口径限制难题 ]。 光栅拼接的主要难点在于拼接误差 的控制 ，为实现对光栅拼接误差的控制 ，许多学者提出了新的想法 ，如 配对误差补偿理论的提出降低 了误差控制的维数 ，降低 了控制难度 7¨]，光栅 自拼接技术不仅降低 了误差控制 维数 ，同时减小 了光栅的使用量 等 ，但 由于光栅拼接误差要求极高 ，前后错位误差仅为数十 nm，这些方法仅 部分降低了控制难度 ，并没有从根本上解决光栅拼接误差控制的难题。近年由于压电驱动器技术的发展，为光 栅拼接误差控制带来了新的契机 ，压电驱动器驱动精度可以达到 nm量级 ，国内外已经开展了压电驱动技术在 光栅拼接误差控制中的研究。但 由于压电驱动器具有非线性等 自身的缺陷，驱动器布置不合理将造成误差的 累积 ，同时驱动器 的分布对控制系统的复杂性有直接 的影响，因此 ，分析和确定压电驱动器的位置布置对光栅 拼接误差控制起着至关重要的作用 。本文就压电驱动器的位置布置 ，提出了两种布置方式 ，并计算了两种布置 方式下光栅拼接误差控制精度。同时计算了在两种驱动布置方式下，光栅拼接装置的模态频率 ，给出了两种布 置方式下的优化结果 。 l 光栅拼接理论模型 光栅拼接中通常x~--~J~PN栅进行固定 ，作为参考光栅，另外 的光栅相对参考光栅进行移动 ，以实现两块 或多块光栅 (本文仅以两块光栅拼接为例 ，进行光栅拼接误差控制模 型推导)角度误差和错位误差控制。 图 1 为拼接子光栅之间的 5维相对误差 。采用配对补偿理论后 ，两子光栅 间仅需控制 △ ，△ 和 2X0三个 自由度 拼接误差。根据并联驱动原