沉淀法制备片状、球状、柱状纳米掺铟氧化锌及其表征研究.pdf

第 18卷第 1期 粉末冶金材料科学与工程 2013年 2月 v0l_18No1 M aterialsScienceandEngineeringofPowderM etallurgy Feb．2013 沉淀法制备片状、球状、柱状纳米掺铟氧化锌及其表征 朱奕漪，段学臣，段文杰，程亚娟，蒋 波 (中南大学 材料科学与工程学院，长沙 4100831 摘 要：采用沉淀法，以Zn(Ac)e-2H2O和 InC13为反应物制备不同形状的纳米掺铟氧化锌(ZIO)。通过 x射线衍 射(XRD)和能谱分析(EDS)确定 In可进入ZnO晶格，且ZIO晶化度随In掺杂量的升高而降低。铟掺杂量为0．5％、 1％(原子分数)的ZIO粉体显微粒度分别为20am、50am，由激光衍射粒度分析可知，后者的均一性更好、中位 径更小。在透射 电镜(TEM)$H扫描 电镜(SEM)下观察薄片状、类球状、六棱柱状的ZIO，并对不同形貌的ZIO形 核机理进行探讨。 关键词：ZIO；沉淀法；In掺杂；粒度 中图分类号：TB383．1 文献标识码：A 文章编号：1673．0224(2013)1．59．07 Preparationandcharacterizationoflamellar,spherical， hexagonalcolumnarindium—dopednanoZIO by precipitationmethod ZHUYi—yi，DUANXue—chen，DUANWen-jie，CHENGYa~uan，JIANGBo (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，CentralSouthUniversity,Changsha410083，China) Abstract：Indium—dopedZIOwithdifferentmorphologieswerepreparedbytheprecipitationmethodusingZn(Ac) 22H2O andInC13asraw materials．XRD andEDSmeasurementsconfirm theincoprorationoftheIn intothecrystalline latticeofZnO，andZIO Crystallinereduceswith increasing In” doping concentration．Microscopicparticlesizeof indium—dopedZnO samplesat0．5％ and1％ In ／Zn molarratioare20nm，50nm ，respectively．Laserdiffractionparticle sizeanalysisindicatesthatthelatter’Smedian diameteriS1ower,andmoreevenlydistributed．Transmissionelectron microscopy(TEM)andscanningelectronmicroscopy(SEM)measurementsshowthatlamellar,spherical，hexagonal columnar-likeZIO crystals，whoseshapesresultfrom thetypeofprecipitnats，andthenucleationmechnaismsofZIO withdifferentmoprhologiesarealsodiscussed． Keywords：ZIO；Precipitationmethod；indium doping；granularity ZnO是 1种性能优异的宽禁带直接带隙半导体材 粒形貌可控 ，但对设备要求高，反应条件苛刻。