氦质谱细检漏标准的漏率判据及改进分析研究.pdfVIP

中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会 氦质谱细检漏标准的漏率判据及改进分析 王庚林 王莉研 董立军 北京市科通电子继电器总厂 北京市宣武区白纸坊东街3l号 邮政编码100054 [摘要]针对有关氯质谱细检漏的我国和美国现行军用标准，通过对漏率判据相应的氦气交换时问常数咖的计算， 实现灵活加压法漏率判据试验方案的设计，以及这些标准的改进分析，文章分析指出：‰可用来评价标准的试验条件 和漏率判据方案；现行我国军用标准的漏率判据普遍保证不了内部水汽含量和长期贮存要求；现行军用标准不同的漏率 判据形成了三到四个密封性等级；充入法工艺控制和加压法检漏是较先进的组合细检漏方案：军用标准均存在句拓不均 衡问题；建议开展研究，制订氮质谱细检漏的专项标准． [关键字]氯质谱细检漏军用标准漏率判据氦气交换时间常数标准的改进 1．氦质谱细检漏的现行军用标准 收集了关于氦质谱细检漏试验方法的现行有效的我国国家军用标准和相应的现行有效的美国军用 标准，以及有代表性的军用性能规范标准——电子元器件总(通用)规范，这些标准包括： GJB360A．96 2 电子及电气元件试验方法方法11 12E MIL．STD．202G(1988并2003通知1)电子及电气元件试验方法方法l GJB548A．96微电子器件试验方法和程序方法1014A GJB548B(报批稿)微电子器件试验方法和程序方法1014B MIL-STD一883G(2006)微电子器件试验方法和程序方法1014．12 GJBl28A．97半导体分立器件试验方法方法1071 MIL．STD．750E(2006)半导体分立器件试验方法方法1071．8 GJB2438A．2002混合集成电路通用规范 MIL．PRF．38534E(2003)混合集成电路通用规范 GJB65B。99有可靠性指标的电磁继电器总规范 MIL-PRF-39016F(2002)有可靠性指标的电磁继电器总规范 GJBl513—92混合和固体延时继电器总规范 2．力Ⅱ压法漏率判据及相应的氦气交换时间常数THe的计算 2．1固定法测量漏率Rl判据及相应的rile 将“l”所列的我国军标、美国军标的加压法氦质谱细检漏固定法(规定法)(以下简称固定加压法) 试验条件、测量漏率的拒收(接收)判据极限及按参考文献[4]《氦质谱细检漏漏率公式与内部水汽 含量研究》(以下称“上文”)公式(10)计算的不同体积下的辄J列于表1。 2．2灵活法漏率判据及相应的THe 中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会 将“l”所列的我国军标、美国军标的加压法氦质谱细检漏灵活法(以下简称灵活加压法)试验条件、 等效标准漏率三的拒收(接收)判据极限及按上文公式(2)、(4)计算的不同体积下的砜2列于表2。 3．实现灵活加压法漏率判据试验方案的设计 实现方案设计。 第二种方案是采用相应固定加压法的尸E和tl，或将力加长至尚有一定可行性的20h(t：)，将测量漏 率判据Rl改变为R：。t2仍均为l小时。 对第一种方案，依据上文公式(10) fi=：LffH月它e-．2。／12·^……．．一．．……………．(t) 对第二种方案，同样依据上文公式(10) 当t1不变时 尺：==I＼．f—Hke．：i／12．尺。．．…………………一一c2， 当tl变为t：时 耻㈢2·私……………∽ 两种方案的设计结果见表3和表4。 4．加压法氦质谱细检漏军用标准的改进分析 国军标、美国军标有关氦质谱检漏判据的规定迈出了改进的步伐。这次改进主要针对固定法，细化了空 腔体积段的划分，在外壳能承受的限度内加大了加压压力尸E，灵活调整了tl(最长达10小时)，加严了 大体积段的局判据，与GJB548A相比，使多数体积段成倍地加长了相应的咖。这次改进是在多数氦 质谱检漏仪的可行的较严判据之内进行的。 的同时，将加压压力加大至接近产品可承受的极限，将马加严至质量较好的氦质谱检