压电式和压磁式传感器PPT.ppt

6.4 压电式测力传感器 压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。 变形方式：利用纵向压电效应的TE方式最简便。 材料选择：决定于所测力的量值大小，对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。 晶片数目：通常是使用机械串联而电气并联的两片。 晶片电气并联两片，可以使传感器的电荷 输出灵敏度增大一倍。 上一页 下一页 返 回 单向压电式测力传感器 用于机床动态切削力的测量。 上一页 下一页 返 回 压电式压力传感器 测量均布压力的传感器 拉紧的薄壁管对晶片提供预载力而感受外部压力的是由挠性材料做成的很薄的膜片。预载筒外的空腔可以连接冷却系统，以保证传感器工作在一定的环境温度条件下，避免因温度变化造成预载力变化引起的测量误差。 上一页 返 回 例题1 有一压电晶体，其面积S＝3cm*cm,厚度t＝0.3mm,在x切型纵向石英晶体压电系数 。 求受到压力p＝10MPa作用时产生的电荷q及输出电压 注：其中真空介电常数: 石英相对介电常数为： * 第六章 压电式和压磁式传感器 6.1 压电式传感器的工作原理 6.2 等效电路及信号变换电路 6.3 压电式加速度传感器 6.4 压电式测力传感器 6.5 压磁式传感器 下一页 返 回 南京林业大学 6.1 压电式传感器的工作原理 电势型传感器 以压电效应为基础 压电效应可逆 “双向传感器” 正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象就称为正压电效应。 ( 加力 变形 产生电荷) 上一页 下一页 返 回 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压，那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。(施加电场 电介质产生变形 应力 ) 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。 1. 石英晶体的压电效应 X轴：电轴或1轴； Y轴：机械轴或2轴； Z轴：光轴或3轴。 “纵向压电效应”：沿电轴（X轴）方向的力作用下产生电荷 “横向压电效应”：沿机械轴（Y轴）方向的力作用下产生电荷 在光轴（Z轴）方向时则不产生压电效应。 上一页 下一页 返 回 晶体切片 当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 d11——压电系数（C/N） 作用力是沿着机械轴方向 电荷仍在与X轴垂直的平面 上一页 下一页 返 回 此时， 石英晶体 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10－12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 上一页 下一页 返 回 2. 压电陶瓷的压电效应 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 压电陶瓷的极化 上一页 下一页 返 回 陶瓷片极化 压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图 自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等， 它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用， 因此陶瓷片对外不表现极性。 上一页 下一页 返 回 压电陶瓷的正压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 放电电荷的多少与外力的大小成比例关系 上一页 下一页 返 回 Q —— 电荷量； d33 —— 压电陶瓷的压电系数； F —— 作用力。 常见压电陶瓷 ： （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以 获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm