激光自混合干涉测速技术研究.pdf

第3I卷，增刊 红外与激光工程 2008年9月 V01．37 lnfraredandLaser Supplement Engineering Sep．2008 激光自混合干涉测速技术 张照云1‘2，高杨1．一，赵兴海1，赵翔1，2 (1．中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900；2．中国工程物理研究院北京研究生部， 北京100088；3．重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室，重庆400044) 摘要：讨论了激光自混合测速的原理、发展现状及关键技术。基于三镜腔模型，详细讨论了激 光自混合测速的原理。反馈光与激光器腔内光混合，调制激光器的输出功率和频率，通过信号处理 得到频移量，从而计算出物体的运动速度。当前，激光自混合测速技术尚处于发展阶段。主要针对 低速、匀速的运动物体，速度测量范围为几mm／s至几十m／s，测量精度为1％；尚未建立普遍适用 的测速模型，对影响自混合测速精度的因素研究还不成熟；信号处理和硬件实现的报道较少。激光 自混合测速还有许多关键技术有待解决：高速、变速运动对象测速未见报道；高精度、大动态范围 的信号处理技术有待发展；需要研究普遍适用的用于速度方向辨别的方法等。 关键词：激光测量； 自混合； 干涉测量； 速度测量； 微光机电系统 中图分类号：TN248文献标识码：A the measurement effect Velocity by self-mixing ZHANG Zhao．yunl”，GAOYan91P，ZHAOXing．hail，ZHAOXian912 (1．1nstituteofElectronicEngineering。ChinaAcademyofEngineering of and China of LaboratoryOptoelectronic AcademyEngineefingPhysics，Beijing100088，China；3．Key TechnologySystem,Chongqqing University，Chongqing400044，China) Abstract：Laser measurement’S statementand self-mixingvelocity principle，develop key aresummarized．Basedonthethree—mirror ofthelaser technologies cavitymodel，principleself-mixing measurementis output and ofthelaseraremodulatedwhen velocity discussed．Opticalpowerfrequency the beamisback—scatteredintothe ofthe active shifted optical cavity laser．By