低温泵(李祥).pptVIP

Ultimate in Vacuum since 1952 * 低温泵相关知识的学习　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 愛発科真空技术（苏州）有限公司 李 祥 2012年3月19日 　 * １、低温泵的构造 ２、低温泵各部件的工作原理 ３、低温泵的保养 目次 * 压缩机 将氦气压缩之后送到冷冻机里 冷冻机 使被压缩的氦气在冷冻机里压缩，膨胀，持续降温，达到冷却作用 泵壳 泵体内（挡板处）将气体凝固，使气体被吸附获得更高真空 ※上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。　 低温泵的构成 * ８０Ｋ挡板 １５Ｋ冷凝板 ８０K屏蔽筒 Ｈ２Ｖ温度計 活性碳吸着材 安全弁 Ｈ、Ｈｅ Ｎ２、ar Ｈ２O 低温泵的构造图 冷凍機１段冷头 冷凍機２段冷头 冷凍機 泵体内各部分名称及安装位置 * * ８０Ｋ挡板 因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升 因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升 再生品 污染时的情况 * 再生品 污染后屏蔽筒 ８０ Ｋ 屏 蔽 筒 涂装处理层面如果脱落了，辐射的 热量被反射，增加15 K挡板的负载。 熱輻射 * 如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能 輻射熱 １５Ｋ 挡 板 再生品 污染的冷凝板 制冷装置--冷冻机、压缩机 冷冻机的物理学依据 根据热力学第二定律，封闭系统内部热能自发的流动方向是单向的，即只能从高热流向低热。 低温泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。 气体在低温泵内遇冷从而凝华变成固态，凝华的过程中释放热量。热量被一级、二级冷凝头吸收，再通过热交换从压缩机转移出去。 * 压缩机主体 高圧 低圧 高圧阀 低圧阀 蓄冷器（冷头） 低温側 室温側 低温膨胀室 活塞 气缸 冷冻机工作原理 低温泵的抽气原理 工作原理： 在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。 一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。 抽气的主要方式 低温冷凝 气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。 低温吸附 气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。 低温捕集 在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。 * 温度的换算 * 气体的平衡蒸气压曲线图 * 气体的蒸汽压降至1×10-8PA以下时，低温泵才能进行有效排气。 对照气体的平衡蒸汽压曲线，可以看出，要冷凝相应气体的需达到的温度。 气体成分分析 低温泵工作时候抽气的分类 第一层次为 水气类 第二层次为 氮气、氩气等 第三层次为 氢气等 * 气体吸附效果图 1 * * 气体吸附效果图 2 气体吸附状态 * * 为什么要定期保养？ 泵 腔体 蒸着物 工业（艺）气体 生成物 因为是储存式的 泵、所以内部 会受污染 低温泵的再生 什么是低温泵的再生 低温泵的再生是使泵内吸附凝结所贮存的气体解析和脱附的过程，再生的方式有多种，其所需时间和再生效果也有所不同。 再生的方式 自然加热再生 它是利用泵壁与周围空气的热交换来使泵升温的，这个升温过程相当缓慢。 气体冲洗再生 气体冲洗再生是应用很普遍的一种方法，它利用冲入泵内的室温或加热的干燥的惰性气体（N2 或Ar）对泵进行加热，因为能够进行有效的对流热交换，所以可以缩短再生时间，而且气体冲洗有利于水蒸气从活性炭中脱附出来，提高了低温泵的再生质量，另外它还能稀释泵内贮存的有毒和爆炸性的气体。 电加热再生 电加热再生是一种经济的再生方法，目前有两种不同的加热方式，一种是利用加热带裹在泵壁外表进行加热，另一种是利用泵内冷头上的加热板进行加热。由于低温泵中的部分元件不能承受高温，因而需要对加热过程进行控制。 * 低温泵在工业中的运用 优点： 可以抽除各种气体。与同口径其他泵比较, 抽速大, 特别是对水蒸汽有很高的抽速, 相当于同口径分子泵的四倍。 使被抽容器内水蒸汽分压低, 从而获得清洁的无碳氢化合物的高真空和超高真空。 泵内无运动部件, 无振动,无噪音,可以任意位置安装。占地面积小,运行费用比油扩散泵低。操作简单。 缺点： 不能连续抽