3选区电子衍射2015.pdfVIP

中北大学中北大学《《材料分析测试技术材料分析测试技术》》研究生课程研究生课程 透射电子显微分析 透射电子显微分析 叶云 主讲 透射电镜的结构及应用 电子衍射 透射电子显微分析样品制备 薄晶样品的衍衬成像原理 Page 1 中北大学中北大学《《材料分析测试技术材料分析测试技术》》研究生课程研究生课程 绪论 现代科学技术的迅速发展，要求材料科学工作 者能够及时提供具有良好力学性能的结构材料及具 有各种物理化学性能的功能材料。而材料的性能往 往取决于它的微观结构及成分分布。因此，为了研 究新的材料或改善传统材料，必须以尽可能高的分 辨能力观测和分析材料在制备、加工及使用条件下 （包括相变过程中，外加应力及各种环境因素作用 下等）微观结构和微区成分的变化，并进而揭示材 料成分—工艺—微观结构—性能之间关系的规律， 建立和发展材料科学的基本理论。改炒菜式为合金 设计。 Page 2 中北大学中北大学《《材料分析测试技术材料分析测试技术》》研究生课程研究生课程 • 透射电子显微镜（TEM ）正是这样一种能 够以原子尺度的分辨能力，同时提供物理 分析和化学分析所需全部功能的仪器。特 别是选区电子衍射技术的应用，使得微区 形貌与微区晶体结构分析结合起来，再配 以能谱或波谱进行微区成份分析，得到全 面的信息。 Page 3 中北大学中北大学《《材料分析测试技术材料分析测试技术》》研究生课程研究生课程 • TEM简介： • 透射电子显微镜 （简称透射电镜，TEM ），可以以几种不 同的形式出现，如： • 高分辨电镜 （HRTEM ） • 透射扫描电镜 （STEM ） • 分析型电镜 （AEM ）等等。 • 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： • 平行束：透射电镜成像及衍射 • 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 Page 4 中北大学中北大学《《材料分析测试技术材料分析测试技术》》研究生课程研究生课程 TEM的主要发展方向 ： (1)高电压：增加电子穿透试样 的能力，可观察较厚、较具代 表性的试样，现场观察(in-situ observalion)辐射损伤;减少波长 散布像差 (chromatic aberration) ;增 加分辨率等，目前已有数部 2-3 MeV的 TEM在使用中。左 图为 200 keV TEM之外形图。 Page 5 中北大学中北大学《《材料分析测试技术材料分析测试技术》》研究生课程研究生课程 (2)高分辨率：最佳解像能力为点与点间 0.18 nm 、线与线间0.14nm 。美国於1983年成立 国家电子显微镜中心，其中 1000 keV之原子