传感器及其应用技术第七章.pptVIP

第七章 半导体式传感器 第一节 气敏传感器 第二节 湿敏传感器 第三节 磁敏传感器 第四节 色敏传感器 第一节 气敏传感器 所谓半导体气敏传感器，是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质变化，借此检测特定气体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。 一、气敏半导体材料的导电机理 这里我们以半导瓷材料SnO2为例说明气敏半导材料的导电机理。SnO2是N型半导体，其导电机理可以用吸附效应来解释。 图7-1（a）为烧结体N型半导瓷的模型。它是多晶体，晶粒间界有较高的电阻，晶粒内部电阻较低。图中分别以空白部分和黑点部分示意表示。导电通路的等效电路如图7-1（b）所示。图中Rn为颈部等效电阻，Rb为晶粒的等效体电阻，Rs为晶粒的等效表面电阻。其中Rb的阻值较低，它不受吸附气体影响。 第一节 气敏传感器 Rs和Rn则受吸附气体所控制，且 。由于Rs被Rn所短路。由此可见，半导体气敏电阻的阻值将随吸附气体的数量和种类而改变。这类半导体气敏电阻工作时都需加热。器件在加热到稳定状态的情况下，当有气体吸附时，吸附分子首先在表面自由地扩散。其间一部分分子蒸发，一部分分子就固定在吸附处。此时如果材料的功函数小于吸附分子的电子亲和力，则吸附分子将从材料夺取电子而变成负离子吸附；如果材料功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向材料释放电子而成为正离子吸附。Q2和NOx（氮类氧化物）倾向于负离子吸附，称为氧化物型氧化型气体。H2、CO碳氢化合物和酒类倾向于正离子吸附，称为还原型气体。氧化型气体吸附到N型半导体上，将使载流子减少，从而使材料的电阻率增大。还原型气体吸附到N型半导体上，将使载流子增多，材料电阻率下降。根据这一特性，就可以从阻值变化的情况得知吸附气体的种类和浓度。 第一节 气敏传感器 二、电阻型气敏器件 电阻型气敏器件在目前使用的比较广泛。按其结构，可分为烧结型、薄膜型和厚膜型三种，下面分别予以介绍。 1、烧结型 烧结型气敏器件的制作是将一定配比的敏感材料（SnO2、InO）及掺杂剂（Pt、Pb）等以水或粘合剂调和，经研磨后使其均匀混合，然后将已均匀混合的膏状物滴入模具内，用传统的制陶方法进行烧结。烧结时埋入加热丝和测量电极，最后将加热丝和测量电极焊在座上，加特制外壳构成器件。这种器件一般分为内热式和旁热式两种结构，如图7-2和图7-3所示。 第一节 气敏传感器 内热式器件管芯体积一般都很小，加热丝直接埋在金属氧化物半导体材料内，兼作一个测量板，该结构制造工艺简单。其缺点是：①热容量小，易受环境气流的影响；②测量电路和加热电路之间相互影响；③加热丝在加热和不加热状态下产生胀、缩，容易造成与材料接触不良的现象。 旁热式气敏器件的管芯是在陶瓷管内放置高阻加热丝，在瓷管外涂梳状金电极，再在金电极外涂气敏半导体材料。这种结构形式克服了内热式器件的缺点，使器件稳定性有明显提高。 第一节 气敏传感器 2、薄膜型 薄膜型气敏器件的制作首先须处理基片（玻璃石英式陶瓷）；焊接电极，之后有采用蒸发或溅射方法在石英基片上形成一薄层氧化物半导体薄膜。实验测得SnO2和ZnO薄膜的气敏特性较好。 薄膜型器件外形结构如图7-4所示。这种器件具有较高的机械强度，而且具有互换性好，产量高，成本低等优点。 3、厚膜型 为解决器件一致性问题，1977年发展了厚膜型器件。它是有SnO2和ZnO等材料与3%~15%（重量）的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，把厚膜胶用丝网印制到事先安装有铂电极的Al2O3基片上，以400~800℃烧结1h制成。其结构如图7-5所示。厚膜工艺制成的元件一致性较好，机械强度高，适于批量生产，是一种有前途的器件。 第一节 气敏传感器 各种可燃性气体的浓度与SnO2半导体瓷传感器的电阻率变化的关系如图7-6所示。对各种气体的相对灵敏度，可以通过不同的烧结条件和添加增感剂在某种程度上进行调整。一般说，烧结型S2气敏器件在低浓度下灵敏度高，而高浓度下趋于稳定值。这一特点非常适宜检测低浓度微量气体。因此，这种器件常用来检查可燃性气体的泄漏，定限报警等。目前，检测液化石油气、管道空气等气体泄漏传感器已付诸实际应用。 S2气敏器件易受环境温度和湿度的影响。图7-7给出了温湿度综合特性曲线。由于环境温湿度对气敏器件的特性有影响，在使用时要加温度补偿，或选用温湿度性能好的气敏器件。 第一节 气敏传感器 三、非电阻型气敏器件 1、二极管气敏传感器 如果二极管的金属与半导体的界面吸附有气体，而这种气体又对半导体的禁带宽度或金属的功函数有影响的话，则其整流特性就会发生变化。在掺钴的硫化镉上，薄薄地蒸发一层钯薄膜，就形成了钯硫镉二极管气敏传感器，这种传感器可用来检测氢气。氢气对这种二极管整流特性的影响如下：在氢气浓度急