传感器及其应用技术第三章.pptVIP

第三章 压电式传感器 第一节 压电效应和压电材料 第二节 压电传感器等效电路和测量电路 第三节 压电传感器应用举例 第一节 压电效应和压电材料 一、压电效应 当某些物质沿其某一方向施加压力或拉力时，会产生变形，此时这种材料的两个表面将产生符号相反的电荷。当去掉外力后，它又重新回到不带电状态，这种现象被称为压电效应。有时人们又把这种机械能转变为电能的现象，称为“顺压电效应”。反之，在某些物质的极化方向上施加电场，它会产生机械变形，当去掉外加电场后，该物质的变形随之消失，把这种电能转变为机械能的现象，称为“逆压电效应”。具有压电效应的电介物质称为压电材料。在自然界中，大多数晶体都具有压电效应，然而大多数晶体的压电效应都十分微弱。随着对压电材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等人造压电陶瓷是性能优良的压电材料。 第一节 压电效应和压电材料 二、压电材料简介 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。前者为晶体，后者为极化处理的多晶体。它们都具有较好特性：压电常数高，机械性能优良（强度高，固有振荡频率稳定），时间稳定性和温度稳定性好等，是较理想的压电材料。 1．压电晶体 常见压电晶体有天然和人造石英晶体。石英晶体，其化学成分为SiO2（二氧化硅），压电系数 C/N。在几百度的温度范围内，其电压系数稳定不变，具有十分稳定的固有频率f0，能承受700~1000kg/cm2的压力，是理想的压电传感器的压电材料。 第一节 压电效应和压电材料 2．压电陶瓷 压电陶瓷是人造多晶系压电材料。常用的压电陶瓷有钛酸钡、锆钛酸铅、铌酸盐系压电陶瓷。它们的压电常数比石英晶体高，如钛酸钡（BaTiO3）压电系数 C/N，但介电常数、机械性能不如石英好。由于它们品种多，性能各异，可根据它们各自的特点制作各种不同的压电传感器，这是一种很有发展前途的压电元件。 常用的压电材料的性能列于表3-1。 第一节 压电效应和压电材料 三、石英晶体的压电特性 石英晶体是单晶体结构，其形状为六角形晶柱，两端呈六棱锥形状，如图3-1所示。石英晶体各个方向的特性是不同的。在三维直角坐标系中，z轴被称为晶体的光轴。经过六棱柱棱线，垂直于光轴z的x轴称为电轴，把沿电轴x施加作用力后的电压效应称为纵向压电效应。垂直于光轴z和电轴x的y轴称为机械轴。把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为横向压电效应。沿光轴z方向施加作用力则不产生压电效应。 若从石英晶体上沿?y方向切下一块如图3-1(c)所示的晶体片，当在电轴x方向施加作用力时，在与电轴(x)垂直的平面上将产生电荷，其大小为 （3-1） 式中：d11——x轴方向受力的压电系数，单位C/N； Fx ——作用力，单位N。 第一节 压电效应和压电材料 若在同一切片上，沿机械轴y方向加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上将产生电荷，其大小为 式中：d12——y轴方向受力的压电系数，单位C/N，因石英轴对称，所以， ； a、b——晶体片的长度和厚度，单位mm。 第一节 压电效应和压电材料 电荷qx和qy的符号由受压力还是拉力决定。由式（3-1）可知， qx的大小与晶体片几何尺寸无关，而qy则与晶体片几何尺寸有关。 四、压电陶瓷的压电现象 压电陶瓷是人造多晶体，它的压电机理与石英晶体并不相同。压电陶瓷材料内的晶粒有许多自发极化的电畴。在极化处理以前，各晶粒内畴任意方向排列，自发极化的作用相互抵消，陶瓷内极化强度为零，如图3-4（a）所示。 第一节 压电效应和压电材料 在陶瓷上施加外电场时，电畴自发极化方向转到与外加电场方向一致，如图3-4（b）所示。既然已极化，此时压电陶瓷具有一定极化强度。当外电场撤消后，各电畴的自发极化在一定程度上按原外加电场方向取方向，陶瓷极化强度并不立即恢复到零，如图3-4（c）所示，此时存在剩余极化强度。同时陶瓷片极化的两端出现束缚电荷，一端为正，另一端为负，如图3-5所示。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的极化两端很快吸附一层来自外界的自由电荷，这时束缚电荷与自由电荷数值相等，极性相反，因此陶瓷片对外不呈现极性。 第一节 压电效应和压电材料 如果在压电陶瓷片上加一个与极化方向平行的外力，陶瓷片产生压缩变形，片内的束缚电荷之间距离变小，电畴发行偏转，极化强度变小，因此，吸附在其表面的自由电荷，有一部分被释放而呈现放电现象。 当撤销压力时，陶瓷片恢复原状，极化强度增大，因此又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。 这种因受力而产生