Ti-Si-N表面生长KMC并行仿真.docVIP

1研究本课题意义和目的 1 1.1研究本课题的来源和目的 1 1.2 课题研究的意义及必要性 2 1.2.1 仿真的必要性 2 1.2.2 采用无格点方法的必要性 2 1.2.3 并行计算的必要性 2 1..3 课题组先前所做的工作 3 2 课题背景及现状（文献综述） 3 2.1. 薄膜制备技术 3 2..2计算机模拟的研究 4 3 薄膜生长的模拟原理和方法 6 3.1 分子动力学 6 3.2 蒙特卡罗模型 7 3.3 动力学蒙特罗模型 8 4 课题研究的内容和任务 9 5 进度安排 9 文献 ： 10 1研究本课题意义和目的 1.1研究本课题的来源和目的 本课题的研究属于国家自然科学基金项目 “用第一原理方法研究Ti-Si-N类纳米复合表面的超硬性能和此类纳米复合结构的形成机理” （项目编号：）和内蒙古教育厅科研基金项目“用三维无格点动力学蒙特卡罗方法研究Ti-Si-N超硬薄膜生长中纳米结构的形成机理”（项目编号：NJ06077）。 在硬度薄膜研究中，利用仿真计算的方法模拟Ti-Si-N纳米复合薄膜的形成过程，为后续的性能仿真提供前提，从而达到在材料设计体系中建立完整的设计方法，改变以往材料学中盲目试错的手段，提高工作效率，压缩开发时间，节约经济成本。 本文采用三维无格点KMC仿真程序对Ti-Si-N薄膜进行过程仿真。在仿真过程中采用.NET技术实行多台计算机并行计算。为材料仿真计算提供一种借鉴。利用并行技术减少计算时间，提高KMC仿真速度，以达到大尺寸、多粒子的沉积过程仿真。 本课题的是基于现在研究方法改变的趋势提出的。在计算机迅猛发展的今天，模拟仿真技术已成为与实验室的实验具有同样重要地位的研究手段。在研究对象中我们选取刀具使用过程中最为关注的硬质镀膜计算。 1.2 课题研究的意义及必要性 1.2.1 仿真的必要性 计算机模拟方法现在已经成为许多学科中使用的工具。对薄膜生长进行计算机模拟的原因是多方面的。主要动力之一是计算机模拟可以取消解析模型所用到的近似。通常，要用解析方法解决一个问题，就必须做某种近似，例如提出各种粒子间作用的计算模型和方法，而用计算机模拟方法，就能够研究解析方法解决不了的问题。 由于计算机模拟方法可以用来研究复杂系统，因此提供了可以用来比较各种近似理论标准。同时，计算机模拟方法也允许对模型和实验进行比较，从而提供了评估一个模型正确与否的手段。 计算机模拟方法还有一个优点，它可以沟通理论和实验。某些量或行为可能是无法或者难以在实验中测量的，而用计算机模拟方法，这些量可以算出来。 1.2.2 采用无格点方法的必要性 在传统的方法中，由于采用有格点的仿真方法。为了解决无法预测迁移位置的问题，前人提出了多种近似模型，常用二维模型的有方格模型和六边形来近似无穷多个位置。这与实际情况是不相符的。采用这个方法的主要原因是，如允许粒子在任意位置沉积，运算很复杂。在薄膜生长过程中，粒子在表面的迁移是一个遵守一定规律的随机运动，是可以迁移到任意合理位置的，而不是人为所规定的格点，因此为了提高仿真的真实性，必然要采用无格点方法。 1.2.3 并行计算的必要性 采用无格点方法[4]必然会使粒子之间作用势的计算比在无格点方法下要复杂，在MC方法下，需要计算粒子在各个可能迁移点的迁移概率，在无格点方法下，粒子的可能迁移是需要计算得出，在有格点状态下，把周边所有点全部计算； 粒子的周边粒子的搜索、粒子间距离的计算量巨大； 模拟粒子数量的增加，将使计算量级数方式增加，粒子之间产生作用需要计算，所以粒子数量的增加，计算量不是以倍数关系增加，而是级数方式增加。 从以上三部分综合来看，在无格点情况下，采用KMC方法来仿真大量粒子的薄膜生长过程，计算量是非常巨大的。在这种情况下，不使用并行技术，该仿真方法因为其仿真时间过长，而失去其实际意义。 1..3 课题组先前所做的工作 课题组刘学杰教授已有多年年研究该方向课题的经验。在德国斯图加特大学从事超硬材料研究。 已在我校毕业的2002届研究生王新蒙，完成了采用将微观粒子动力学与Monte Carlo方法相结合的KMC（Kinetic Monte Carlo）方法计算机模拟。该KMC模型引入了活粒子的概念，充分考虑了表面所有活粒子都有发生迁移运动的可能，同时也考虑到每次跃迁运动发生后所引起的周围近邻粒子运动状态的变化。通过给每个团簇赋以不同的颜色，得到了所需的团簇统计数据。仿真软件的设计是在Visual Basic6.0 的集成开发环境中进行，用户可方便地输入待考察的参数值，并实时观察表面粒子的运动状态。 我校2003届研究生吴广新正在做利用计算机对 Ti、Si、N 三种粒子共沉积形成纳米级薄膜的初期生长过程进行仿真模拟，以求探讨不同的工艺参数和不同材料组分对膜层性能的影响，从而获得具有较