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微电子学概论 王敏 ahrabbit@163.com 教 材 《微电子学概论》（第二版）：张兴/黄如/刘晓彦，北京大学出版社，2005年6月 参考书目 刘恩科，朱秉升，罗晋生著；《半导体物理学》，电子工业出版社 ，2003 施敏；《半导体器件物理与工艺》，苏州大学出版社，2002 张建人著：《MOS集成电路分析与设计基础》，电子工业出版社，1994 Jan M.Rabaey；《数字集成电路-电路、系统与设计》，电子工业出版社，2005 陈金松；《模拟集成电路》，中国科学技术大学出版社，1997 甘学温、赵宝瑛等；《集成电路原理与设计》，北京大学出版社；2006 Peter Van Zant ；《芯片制造》，电子工业出版社，2004 王志功等；《集成电路设计技术与工具》，东南大学出版社，2007 课程目的 （一）什么是微电子学和微电子学是研究什么的； （二）对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识； （三）初步掌握半导体物理、半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路设计、集成电路CAD方法、MEMS技术等基本概念，对微电子学的整体有一个比较全面的认识。 主要内容 微电子技术简介 半导体物理和器件物理基础 大规模集成电路基础 集成电路制造工艺 集成电路设计 集成电路设计的EDA系统 几类重要的特种微电子器件 微机电系统 微电子技术发展的规律和趋势 第一章 绪 论 什么是微电子学 晶体管的发明 集成电路的发展历史 集成电路的分类 微电子学的特点 微电子加工环境 1.什么是微电子学? 微电子学：Microelectronics 微电子学——微型电子学 核心——集成电路 微电子学是研究在固体（主要是半导体）材料上构成的微小型化电路、电路及系统的电子学分支。 主要研究电子或粒子在固体材料中的运动规律及其应用，并利用它实现实现信息获取、传输、存储、处理和输出的科学，以实现电路的系统和集成，实用性强。 其发展水平直接影响着整个信息技术的发展，是一个国家经济实力的重要标志。 集成电路： Integrated Circuit，缩写IC 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能。 封装好的集成电路 74LS00 TTL 2输入端四与非门 74LS04 TTL 六反相器 集成电路 集成电路的内部电路 硅单晶片与加工好的硅片 集成电路芯片的显微照片 集成电路的内部单元 64M SDRAM （华虹NEC生产） 芯片面积5.89×9.7=57mm2 ， 456pcs/w，1个IC中含有1.34亿只晶体管 50m 100 m 头发丝粗细 30m 1m  1m (晶体管的大小) 30~50m (皮肤细胞的大小) 90年代生产的集成电路中晶体管大小与人类头发丝粗细、皮肤细胞大小的比较 集成电路设计与制造的主要流程框架 —制造业— 芯片制造过程 封装好的集成电路 —封装与测试业— 微电子科学技术的战略地位 自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。 社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光纤和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。 微电子：信息社会发展的基石 实现社会信息化的网络及其关键部件不管是各种计算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子。 1946年第一台计算机：ENIAC 第一台通用电子计算机：ENIAC Electronic Numerical Integrator and Calculator 1946年2月14日 Moore School，Univ. of Pennsylvania 18,000个电子管组成 大小：长24m，宽6m，高2.5m 速度：5000次/sec；重量：30吨； 功率：140KW；平均无故障运行时间：7min 实现社会信息化的网络及其关键部件不管是各种计算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子 1946年第一台计算机：ENIAC。 这样的计算机能够进入办公室、车间、连队和家庭？当时有的科学家认为全世界只要4台ENIAC。 目前，全世界计算机拥有量约10亿台，每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量。 集成电路的作用 小型化 价格急剧下降 功耗降低 故障率降低 集成电路的战略地位首先表现在当代国民经济的“食物链”关系 进入信息化社会的判据：半导体产值占工农业总产值的0.5% 据美国半导体协会（SIA）预测 其次，统计数据表明，发