第3章 电容式传感器 2PPT.ppt

该驱动电缆放大器无任何附加电容 因此适用于Cx很小情况下的检测电路 ● ● -A U ● ○ C0 Cx U∑ U01 驱动电缆线路原理图 -Aa ● U02 放大器（输入端）与电容Cx不存在直接的电气连接，故放大器电气性能对电容Cx的影响不大。 电路的特点： （2）组合集成技术 采用超小型大规模集成电路，将全部测量电路组合在传感器壳体内； 更进一步就是利用集成工艺，将传感器与处理电路集成于同一个芯片内，采用元件封装方法，构成集成电容式传感器。 这是消除寄生电容、静电干扰和电磁波干扰的好方法。 但就目前技术，电容器件很难集成在集成电路中。 五、温度影响 环境温度的变化将使电容传感器内 ◇零件的几何尺寸发生变化 ◇极距相对位置发生变化 ◇介质的介电常数发生变化 从而改变传感器的电容量、改变传感器输出相对被测输入量的单值函数关系，产生温度误差。 1、温度对结构尺寸的影响 电容传感器由于极间间隙很小，对结构尺寸的变化特别敏感。在传感器各零件材料线膨胀系数不同的情况下，温度变化将导致极间间隙有较大的相对变化，从而产生很大的温度误差。 以变极距电容传感器为例，如下图所示。 图中： g0 定极板厚度 b0 绝缘材料厚度 α0 动极板至绝缘底部壳体的距离 δ0 动极板与定极板的初始距离 δ0 b0 g0 α0 电容式传感器的温度误差 温度为t0时，极板间间隙为δ0： δ0 b0 g0 α0 电容式传感器的温度误差 当温度由 t0 变化Δt 后，各段尺寸均要膨胀，使极板间间隙变为δt： αa、αb、αg 为各零件材料的线膨胀系数 由此引起的温度误差为： （式3-28） 由上述推导的式（3-28）可知，欲消除温度影响，其条件为： 温度误差与零件的尺寸、热膨胀系数有关 应减少尺寸链的组成环节 选用热膨胀系数小、几何尺寸稳定的材料如：石英、陶瓷、玻璃、镍铁合金等。其中尤以绝缘套材料为最重要。 结论： （式3-28） α0αa - b0αb - g0αg= 0 2、温度对电解质介质的影响 温度对介电常数的影响随介质不同而异， 空气及云母的介电常数温度系数近似为零； 而某些液体介质，如：硅油、煤油等，介电常数的温度系数较大。 例如： 煤油的介电常数的温度系数为 0.07%/℃ 若环境温度变化±50℃ 则介电常数将产生7%的温度误差 用此类介质时，必须注意温度变化造成的误差 第三节 电容传感器的测量电路 一、调频电路 二、运算放大器电路 三、二极管双T形交流电桥 四、环形二极管充放电法 第三节 电容传感器的测量电路 测量电路是将电容量转换成电信号（频率 f 、电压 U、电流 I） 常用的电容转换电路有： ●调频电路 ●运算放大器电路 ●二极管双T形交流电桥 ●环形二极管充放电法等 1、调频电路 调频式测量电路原理框图如下图所示。 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当被测量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。△f = f（C）。 鉴频器 限幅放大器 振荡器 C L 电容变换器 Δf Δu Δf Δu 调频式测量电路原理框图 虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正。 因此，必须加入鉴频器（电压U、频率 f 转换），将频率的变化转换为电压（振幅）的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。 调频振荡器的振荡频率为: 下图是运算放大器电路原理图，图中 Cx为电容式传感器电容，接在放大器的反馈回路 Σ是虚地点（放大器输入阻抗很大） Uin是输入电源电压 Uout是输出信号电压 2、运算放大器电路 运算放大器电路最大的特点是能够克服单电容变间隙式传感器的非线性，使输出（电压）与输入（动极板位移）成线性关系。 按理想运算放大器的条件，可得其特性为： 运算放大器式电路原理图 A C0 Cx U1 Σ Icx I1 Icb + - （式3-29） 2、变面积型电容传感器 变面积型电容传感器的结构原理图如下图所示 ● 测量原理 改变电容极板的有效面积 被测量通过极板的移动，引起两极板有效覆盖面积A改变，从而得到电容量的变化。 l0 Δl b0 δ0 动极板 定极板 单片式变面积型电容传感器 移动方向 l 中间极板移动式 变面积型电容传感器 l0 移动方向 有效覆盖面积 A 设动极板相对定极板沿长度 l0 方向平移Δl ，则电容为： (式3-14) 式中： C0=ε0εrb0 l0 /δ0 初始电容 ΔC=ε0εrb0 Δl /δ0 电容的变化量 （1）变面积电容传感器电容量的变