单晶炉 SOP系统作业参数说明书.pdf

系统作业参数（SOP）操作手册 目 录 第一章 简介 1.1 关于这本手册 1.2 常用文件 1.2.1 菜单命令 1.2.2 参数屏幕 目录 表 1.2.3 命令条 举例 第二章 SOP内容 2.1 SOP表 2.2 初始化设置 2.3 抽真空/检漏 2.4 压力化/熔料 2.5 熔料步骤 2.6 稳定化I 2.7 稳定化/熔接 2.8 引晶 2.9 放肩 2.10 放肩表 2.11 转肩 2.12 等径 2.13 等径斜率表 2.14 等径直径控制 2.15 埚升/晶升比率表 2.16 收尾 2.17 收尾表 2.18 收尾晶升速率补偿表 2.19 停炉 2.20 煅烧 1 第一章 简介 这本手册的目的是提供建立系统运行参数（SOP）文件的每一个内容的说明。 SOP通常叫做方法，在单晶的自动生长过程中用来指导单晶炉的动作。 1.1 关于这本手册 这本手册分成两章和一个目录。下面是每一章内容的简要说明。 章节 说明 1 这一章对单晶炉的各个部件、手册的编制以及使用习惯做了简 单的总体说明。 2 这一章提供了系统运行参数（SOP）的内容的简要说明。 附录 A 提供了这本手册中的常用名词表。 1.2 常用文件 在建立 SOP 前，建立一个在这本手册中出现的有关准确动作、命令和用户警 告说明是很重要的。 1.2.1 菜单命令 菜单命令中保存功能必须在新建或打开命令执行后才能激活。 1.2.2 参数屏幕 参数屏幕通常用来显示每一步 SOP 中的不同参数。根据不同的 SOP 步骤，数 值在目录或排序中显示出来。 目录 在目录序列中，参数数据在右侧从头到尾用实际数值表示 图1 目录序列中的参数显示 序列表 在序列表中，参数数据在右侧从头到尾用实际数值表示。 图2 序列表中的参数显示 2 1.2.3 命令条 命令条被列在几乎所有屏幕的左部，如下图，这些键通常被用来在 SOP 分菜 单和目录窗口之间切换，并随着程序中位置的不同而不同。（命令条必须在程序 被激活时才可用，即打开或新建文件时才可用，否则点击没有反应。）。 图3 左侧命令条 3 第二章 SOP 内容 2.1 SOP表 下表中列出了构成一个SOP的内容，它们在单晶炉的自定操作过程中被使用。 SOP内容 说明 Initial Setup 说明晶向、热场尺寸和投料量，还有熔液面和热 初始化设置 挡板的位置及SOP编写等信息。 Pumpdown/Leakback