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半导体,电子,自动化SPC简介PPT
前言花絮 Wafer Fab 晶圆制造厂 Clean Room 无尘室(封闭) 一条8英寸的生产线,需要投资7~8亿美金;而一条12英寸的生产线,需要的投资达12~15亿美金(2005年 1:8) wafer size指的是wafer的直径 8英寸=203.2毫米 12英寸=304.8毫米 大纲 目的 这个剪短的归纳能够让你知道关于统计过程控制 的基本内容。 包含: 概念 通过这次PPT,大家能够: 理解什么是生产,偏差,普通原因特殊原因,SPC的基础,。。。。 理解为什么我们需要控制图表 生产流程的含义 生产流程的含义 什么是“生产流程”?(SOP 标准作业程序) 生产流程的定义为:在生产工艺中,从原料投入到成品产出,通过一定的设备按顺序连续地进行加工的过程。 误差(偏差)的含义 误差(偏差)的含义 误差(偏差)的含义 普通原因(改变)特殊原因(可避免) 普通原因(改变)特殊原因(可避免) 普通原因(改变)特殊原因(可避免) 普通原因(改变)特殊原因(可避免) 特殊原因(偏差)问题解决 特殊原因(偏差)问题解决 普通原因(改变)提升改进 普通原因(改变)提升改进 什么是 SPC SPC是Statistical Process Control 的简称,中文为统计过程控制。 目的:使你知道什么时候干预,控制的偏差。 只有在特殊原因发生才去干预。 你怎么知道特殊原因的发生? 通过控制图表 *cl=control limit. 什么是统计过程控制(SPC) 什么是统计过程控制(SPC) SPC的组成 (1)控制图表(生产过程平均范围,平均标准偏差) (2)控制限定范围 (3)超出控制的条例(out of control rules-OOC) (4)控制作用系统(control action system-CAS) SPC的实施步骤 一般分为两大步骤:首先用SPC工具对过程进行分析,如绘制分析用控制图等;根据分析结果采取必要措施:可能需要消除过程中的系统性因素,也可能需要管理层的介入来减小过程的随机波动以满足过程能力的需求。第二步则是用控制图对过程进行监控。 什么是统计过程控制(SPC) 企业为什么要实施 SPC SPC强调全过程监控、全系统参与,并且强调用科学方法(主要是统计技术)来保证全过程的预防。SPC不仅适用于质量控制,更可应用于一切管理过程(如产品设计、市场分析等)。正是它的这种全员参与管理质量的思想,实施SPC可以帮助企业在质量控制上真正作到事前预防和控制。 结束 谢谢! * * * wafer晶圆 1. 演示文稿的目的 2. 什么是误差(变差) 3. 什么是普通原因特殊原因 4. 什么是统计过程控制(SPC) 目的: ? 提升对 SPC的认知度,了解其内容,知道它的主要用途。 ? 使操作者更好的运用 SPC。 优点: ? 能够使操作者及时发现生产过程中不正常现象。 ? 帮助预测过程的发展趋势,及时发现生产隐患。 ? 降低不良率,减少返工和浪费,削减成本。 ? 有助于改进和完善生产工艺,科学提高生产力。 ? 提升制造部门和技术部门的沟通。 l?θ?gr?f?] 改变原料(投入)或者生产过程会改变生产结果(产出) 通常,你测量你的体温,难道会每天都是相同的温度? 36.7℃ ,36.7℃ ,36.7℃ ,36.7℃ ,....√/× 体温可以当做是输出量。 36.7℃ ,36.4℃ ,37.3℃ ,36.9℃,... 输出量变动! 为什么会变动? 这种变动是无法避免的,叫做误差(变差)。 误差的存在,我们能够控制它或者让误差控制我们。 生产过程误差 *没有哪两样东西在同一生产流程出来是100%相同的。 * 这种改变是因原材料(投入)引起,结果(产出)的不同,称为生产过程误差。 这里有2种原因会导致生产过程误差(偏差) -普通原因和特殊原因 这个误差对应的是普通原因 这个误差对应的是特 殊原因 你生病了属于哪种原因? (正常体温36.5℃-37.5℃) 普通原因 或者 特殊原因 什么是特殊原因? - 外来因素进入到系统的或者妨碍到系统的性能。 比如:吃了不干净的食物,或者喝了不干净的水。 什么是普通原因? -系统内在的因素(存在的变差) 第1天 第2天 第3天 第4天 第5天 第6天 第7天 开始 7:20am 7:35am 7:30am 7:40am 7:25am 7:40am 7:36am
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