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ICP 操作步驟
ICP 操作步驟
ICP 「開機」程序
1. 打開電腦 (NoteBook) 下方的門，露出 power supply box 。
打開 NoteBook 下方的門
2. 請依以下順序開啟 3 個黑色開關 (注意: 開關往上扳是開，往下扳是關)
a. 打開 MAIN1 的開關，MAIN1 燈會亮。
b. 打開 MAIN2 的開關，MAIN2 燈會亮，等約三分鐘 ，始可執行下一步驟(期間聽到 6 聲閥
門聲) 。
c. 打開 VAC 的開關，務必等到轉速到達工作值 (Act Spd : 40800rpm ），才可進行下一步驟。
a.往上扳打開 MAIN1 的開關
b.打開 MAIN2 的開關，等三分鐘
c.打開 VAC 的開關 ，等轉速到
40800rpm
3. 關上 power supply box 的門。
4. 按下 CONTROL UNIT 面板上之 EVACUATION START 按鈕，以抽真空。 等待氣壓降到約
0 Pa 左右，及 CONTROL UNIT 上之 READY 燈亮，以確認真空無誤。
1
按 START 按鈕抽真空
氣壓降到約 0 Pa 左右，READY 燈亮
5. 按下 MASS FLOW CONTROLLER(MFC)面板上之 POWER ，待POWER 燈亮，5 秒後再開
PURGE 。
先開 POWER
等 5 秒，再開 PURGE
6. 打開電腦，執行桌面上主程式 EIS-700 ；打開機台後方所需氣體的閥門。
正旋開啟氣體閥門，旋轉閥應與管路平行
2
ICP 操作方法
* 務必填寫使用記錄簿
Dry run
1. 打開 RF Power (按下 RF Power 之 ON) ，然後依下列步驟測試參數：
按下 ON 啟動 RF Power
a. 按下電腦桌面的 EIS-700 圖示，啟動程式，然後選擇所需的運作模式。
建議( : 導體選用 Auto/Bias mode; 非導體選用 Auto/ RF mode)
點選 EIS-700 進入程式
b. 在電腦上設定好參數後，按下機台上 Automatic Matching Controller(AMC)之兩個 Preset
鍵，然後按下電腦上 ”Start Etching” 之 ”Yes” ，開始測試。其餘動作由電腦設定自動
操作完畢。
按下兩個 Preset 鍵
3
c. 請注意，反射功率應小於 200W 。若是反射功率太大，建議更改參數再重試。
反射功率若高於 200W ，請按電腦
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