压电材料 微机电系统技术基础课件.ppt

微机电系统技术 第二章微机电系统功能材料 压电材料 磁致伸缩材料 形状记忆材料 电流变液 膨胀合金 金刚石材料 纳米相材料 2.3 压电材料 压电效应 石英晶体 压电陶瓷 聚偏二氟乙烯薄膜 （PVDF） ZnO压电薄膜 微机电系统功能材料 微机电系统功能材料 2.3.2 石英晶体 石英晶体的理想形状为六角锥体。 石英晶体是各向异性材料，不同晶向具有各异的物理特性。 石英晶体又是压电材料，其压电效应与晶向有关 石英晶体作为压电材料，主要用于制造压电振子和换能器。 微机电系统功能材料 2.3.3 压电陶瓷 陶瓷材料是以化学合成物质为原料，经过精密的成型烧结而成。 烧结前，严格控制合成物质的组份比，便可以研制成适合多种用途的功能陶瓷，如压电陶瓷、半导体陶瓷、导电陶瓷等 压电陶瓷是陶瓷经过电极化之后形成的。 微机电系统功能材料 2.3.4聚偏二氟乙烯 聚偏二氟乙烯简称PVDF是一种压电和热释电功能材料。 聚偏二氟乙烯薄膜通常用单向拉伸或双向拉伸改善其机械特性和压电特性。 聚偏二氟乙烯薄膜在温度作用下会产生热应力变化，导致电荷的电效应，即热释电效应。 微机电系统功能材料 聚偏二氟乙烯具有如下特点 可制成柔软而结实的检测元件，附着在被测对象的弯曲或柔性表面上。 化学稳定性高，且不会析出有毒物质，与血液有良好的兼容性。 有和水及人体软组织相接近的低声学阻抗 压电常数比石英高一个数量级 加工性能好，易于大面积制造 内阻大，固有频率高，具有优异的宽频带响应特性 微机电系统功能材料 2.3.5 ZnO压电薄膜 ZnO是6mm点群对称的六角晶系纤锌矿晶体。 ZnO薄膜与各种非压电材料衬底有优异的结合性能。 微机电系统功能材料 ZnO薄膜的用途 （1）作为压电激振器和检测器 （2）压电换能器 （3）声表面波谐振器和声表面波滤波器 缺点：薄膜在生长过程中内部会存在残余应力，其会影响器件使用的稳定性。 总结 压电效应 压电材料 聚偏二氟乙烯（PVDF） 六角形结构(?nm)晶面构成谐振腔 Lasing * * ★正压电效应：在机械应力作用下，将机械能转换为电能。 当沿着一定方向对某些电解质加力而使其变形时，在一定表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电状态。 2.3.1 压电效应(piezoelectricity) 逆压电效应：在电压作用下，将电能转换为机械能。 当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械应力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。 压电效应表达式如下： 反映压电材料能量转换效率的系数叫做机电耦合系数，用k表示 K=(由正压电效应转化为的电能/输入的机械能）1/2 Q=d·F x y z 石英晶体的坐标轴选取 Q=d·F 石英晶体的压电效应 产生的示意图 Q=d·F 压电效应表达式： dij--压电系数 D--电位移 E--电场强度 ε--应变 б--应力 压电系数 “短路条件”下压电常数 “开路条件”下压电常数 单位机械应变在晶体内部产生的电势梯度。 机电耦合系数 石英晶体的压电系数矩阵 Z轴： 中性轴 Y轴：机械轴 X轴：电轴 石英晶体的压电系数矩阵 应用 传感器：压力，加速度。 执行器：微致动器，马达，超声波换能器。 其它：晶体震荡器。 2.3.3 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质, 如图（a）所示。  在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强， 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性, 如图（b）所示。 压电陶瓷的压电系数矩阵 压电陶瓷材料有很多种，最早的是钛酸钡，现在最常用的是锆钛酸铅（PZT） 利用材料复合技术，也研制出不少类型的压电复合材料。如 聚偏二氟乙烯 混合材料:填充压电陶瓷借以增强压电效应，聚合物相则可以降低材料的密度和介质常数，增加材料的柔性 微机电系统功能材料 Ps和T分别代表极化强度和温度 热释电常数 Piezoelectric Coefficients and Other Relevant Properties for a Selected List of Piezoelectric 　在以一