五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析-光学精密工程.pdfVIP

五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析-光学精密工程.pdf

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第卷第期光学精密工程年月文章编号五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析马冬梅刘志祥马磊卞江中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春中国科学院研究生院北京摘要为了精确测量光学表面的表面斜率从而实现光学表面面形的高精度测量全面分析了五角棱镜扫描系统中的调整误差及五角棱镜的制造角差对测量光束的指向精度和被测面表面斜率测量精度的影响根据旋转变换矩阵和光线矢量追迹理论运用编写了精确计算测量光束指向误差和测角仪测量值的程序通过对各误差组合的计算结果进行二维二次多项式拟合推导出在一定角度范围内用

第 卷 第 期 光学 精密工程 16 12   Vol.16 No.12               O ticsandPrecisionEnineer

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