双反射薄膜的设计和实现.pdf

( ) ISSN 清华大学学报 自然科学版 2001 年 第 41 卷 第 11 期 2235 CN 112223N 　 ( ) , 2001, . 41, . 11 7779 J T singhua U niv Sci Tech V ol N o 　 双反射薄膜的设计和实现 1 1 1 2 毛文炜 , 　林德教 , 　殷纯永 , 　霍玉晶 ( 1. 清华大学 精密仪器与机械学系, 　2. 清华大学 电子工程系, 北京 100084) 摘　要: 弹光效应双反射膜是一种各向异性的高反射膜。在 Key words: 　 op t ical film ; phase d isp er sion; bireflectance film ; 预加了应力的基片上镀制高反射膜, 然后撤去基片上的预加 p ho toelast ic effect; dualfrequency laser 应力, 则基片上因弹性变形而产生的应变便转移到了膜系 上。由于弹光效应使膜系成为各向异性的, 从而使垂直入射 　　在激光谐振腔中引入弹光效应产生的双折射, 光束的两个正交偏振反射分量有了一定的相对相位延迟。理 使得激光输出的频率发生变化, 进而做成双频激光 论分析和实验证明, 选择好膜系结构, 确定好中心波长, 并经 器、加速度传感器和力传感器, 已有多篇文献报 优化, 在工作波长处可以得到较大的相位色散, 施加 100N 导[ 1～ 3 ] 。目前, 基于双折射频率分裂原理的激光器 的力就能在正交方向获得 1. 8°的相位差而反射率保持不变; 此膜系用于氦氖激光器, 可制出频差为 5M H z 量级的双频 在工艺上存在一定困难, 难于保证频差和偏振方向 激光器。文中给出了一个弹光效应的双反射膜的结构参数和 的稳定性, 因此需要寻求一种简洁的解决办法。如 数值计算结果。 果能在氦氖激光器的窗片上镀制弹光效应双反射 关键词: 光学薄膜; 相位色散; 双反射膜; 弹光效应; 双频 膜, 得到较高频差的双频激光输出, 是十分有吸引力 激光器 的, 它可以使激光器的性能和寿命都有很大的提高, 中图分类号: TH 744. 2 而且工艺性能也得到根本的改善, 以适应高速外差 文章编号: (2001) 11007703