干涉仪 论文.doc

目 录 第一章 绪 论 1 1.1几种球面干涉仪简介 1 1.2 全息干涉仪 6 第二章 干涉仪检测面型 7 2.1检测球面 7 2.2新型组合型干涉仪检验球面镜 12 第三章 全息干涉仪 21 3.1全息组件及应用 21 3.2全息干涉仪及应用 27 第四章 全息干涉仪的改进 33 4.1 以CCD记录干涉图 33 4.2干涉图的数据处理与自动判别技术 36 结 论 43 致 谢 44 参考文献 45 第一章 绪 论 1.1几种球面干涉仪简介 现代干涉技术是在人类了解的光学全部知识基础上发展起的。它是物理学和当代技术有机结合的产物。自激光问世以来,由于激光具有极好的时间相干性和空间相干性，其应用范围不断扩展,激光干涉仪技术也不断发展,出现了各种形式的激光干涉仪。以激光为光源的现代干涉仪的性能与经典干涉仪比有了显著的改进，表现在量程大、分辨率高、抗干扰能力强、测量精度高、操作方便等方面。全息干涉仪由于使用全息光学元件不仅可简化仪器的光学结构，并能在一定的条件下能消除仪器固有的位相差，又由于它具有好的性能价格比而受到人们的重视。 随着我国经济的发展，如何能够为高速发展的工业发展提供高质量的光学元件正成为制约我国光学工业发展的瓶颈，而光学的检测技术正是制约光学制造技术发展的主要因素。因此如何能够制造出价格合理，且检测精度高的激光干涉仪就成为摆在我们面前的一道课题。而全息元件及各种现代科技手段在这一领域的应用为人们提供了有前途的途径。 1.1.1斐索干涉仪 斐索干涉仪及共光路干涉仪系统，其利用参考球面做为基准检验被检测球面的面形。以激光做光源的菲索干涉仪又称激光球面干涉仪。激光球面干涉仪不仅可以检测面形而且可以测曲率半径。对于镀有反射膜的球面，还可以采用多光束球面斐索干涉仪。这种干涉仪用精度很高的小的口径参考球面检验较大的球面镜的面形（图1-1）。 图 1-1 多光束球面干涉仪 1.1.2泰曼-格林干涉仪 泰曼干涉仪使用范围很广，可用于光学平板表面、会聚和发散的镜面、照相物镜等的检验．泰曼干涉仪，因参考光路与测试光路分开，对外界干扰灵敏。故一般检测口径不超过150 mm。 图1-2 激光泰曼-格林干涉仪 图1-2表示利用参考平面镜和光束发散器的激光泰曼干涉仪。图1-3是用激光不等光程干涉仪检验非球面系统。这种干涉仪可以采用调整参考面到分束板之间的距离使得参考和被检光路的光程差等于激光器腔长的整数倍的方法得到最好的条纹对比。 图1-3联合光束发散器和零透镜的检验非球面用不等光程干涉仪 激光不等光程泰曼干涉仪也可以作成能测半径和面形的球面干涉仪。图1-4表示了这种系统．利用聚焦物镜的滑动距离来测半径，故条纹对比和被测镜的曲率无关，始终保持最好的条纹对比。分束板摆成布鲁斯特角，而后一面镀半反半透膜，这样利用偏振光可以消除分束板两个面之间产生的不必要的条纹。 图1-4球面干涉仪 图1-5 位相测量干涉仪 为了实时地进行光学系统的装调和光学零件的面形检验，开发了相位测量干涉仪，如图1-5所示．这个系统利用平面偏振光，一路经过参考光路，产生小的频率移动，另一路经过被检光路，不产生频率移动。这样，干涉场的光强随时间变化的频率等于这两个光路光频的差频，这时干涉场各个位置上的相位差代表该位置的面形误差。如果用相位计测量两个不同位置接收的相位差，就得到这两点的面形高度差．这种测量精度可以达到1／300波长。 代替两个接收器，采用多个接收器阵列接收干涉图，若可以同时接收整个干涉场的相位差，则对整个系统的稳定性要求可以降低。如用于光学零件和光学系统检验的数字波前测量干涉仪。这个干涉仪采用泰曼型激光不等光程干涉仪形式，利用压电驱动方法移动参考面，在参考光路中产生附加的光程变化，这时干涉场的光强随时间的变化利用1024个光电二极管阵列接收下来，比较相位差。通过模拟数字转换器输入到小型计算机，计算机处理面形，给出面形的等高图和透视图，并实时地在电视屏上给出面形误差。计算机还利用快速傅里叶变换程序算出光学系统的点扩散函数和光学传递函数。这个干涉仪对光学零件表面的面形检验精度达到1／100波长，测曲率半径的精度达到几分之一微米。 1.1.3波前剪切干涉仪 波前剪切干涉仪把被检波前重叠在它自己的剪切象上产生干涉，这种渡前剪切的方法有横向的、旋转的、反转的、径向的。由于被检波面和自己的剪切波面干涉不用参考基准面，这就避免了前述的斐索干涉议和泰曼干涉仪由于参考基准面的精度决定干涉仪的精度的限制。另外产生干涉的两个波光程相同，因此对空气抖动和震动的影