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厚膜混合集成电路可靠性技术
4 1 1 Vol. 41, No . 1
2011 2 Micr oelectr onics Feb. 2011
动态综述
罗 俊, 秦国林, 李晓红, 邓永芳, 邢宗锋
( , 400060)
: 总结了混合集成电路的主要失效模式, 在 基础上, 主要从混合集成电路的设计和工艺
两方面分析了其产生的原因, 通过设计工艺原材料和元器件等方面采取对策和措施, 达到提高混
合集成电路可靠性的目的
: 混合集成电路; 可靠性; 失效模式; 失效机理
:T N406 : A : 2011)
Reliability T echni ues for Hybrid Integrated Circuits
LU O Jun, QIN Guolin, LI Xiaohong, DENG Yongfang, XING Zongfeng
( S ichuan I nsti tute of S ol idS tate Ci rcuit s, Chi na El ectroni cs Technol ogy Gro up Corp or at ion , Chongq ing 400060, P. R. China )
Abstract: Major failure modes of hybrid IC products w ere summarized. Based on the summary, causes for fail
ures of hybrid IC s were analyzed from the point of view of circuit design and fabrication process. By taking proper
measures in design and manufacturing, and choosing right materials and components/ devices, the reliability of
hybrid IC s can be improved.
Key words: Hybrid integrated circuit; Reliability ; Failure mode; Failure mechanism
EEACC: 0170N
,
1 引言 ; ,
,
( HIC)
[ 1]
, ,
,
, 2 混合集成电路的可靠性
, 20 50
,
[ 5, 6]
,
[ 2, 3]
,
, , , HIC
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