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对国内硅烷生产的几点看法-中国气体分离设备商务网
第 27卷第 6期 低 温 与 特 气 Vo l27, No6
2009年 12 月 Low Temp eratu re and Sp ecialty Gases D ec, 2009
对国内硅烷生产的几点看法①
1 1 2
余京松 , 沃银花 , 张金波
( 1. 浙江大学 半导体材料研究所 , 浙江 杭州 3 10027; 2. 杭州新世纪混合气体有限公司 , 浙江 杭州 3 11107)
摘要 : 阐述了国内硅烷的生产现状 、所采用的技术路线以及在引进国外技术方面所面临的问题 。对硅化镁法生
产硅烷的工艺过程中比较突出的几个问题如氨的回收 , 杂质水 、氢和碳氢化合物等谈了自己的看法和处理意见 。
关键词 : 硅烷 ; 技术路线 ; 硅化镁 ; 多晶硅 ; 非晶硅太阳能电池
中图分类号 : TQ 117 文献标识码 : A 文章编号 :(2009)
doi: 103969 / jissn10077804200906002
Som e O p in ion s A bout D om estic S ilane Production
1 1 2
YU J ingsong , WO Yinhua , ZHAN G J inbo
( 1. Sem iconductor M aterials R e search In stitute, Zhej iang Un iversity, H angzhou 310027 , Ch ina;
2. H angzhou N ew Cen tu ry M ixed Gased Co. , L td. , H angzhou 311107 , Ch ina )
A b stract: Current statu s of silane p roduction in Ch ina is reviewed in th iswork. W e in troduce the techno logical rou te s of si
lane p roduction. The p rob lem s in adop ting foreign techno logie s are analyzed. For the p roduction of silane from m agnesium
silicide, key techn ique s such a s the recycling of ammon ia and the control of impu rities ( e. g. , water, hydrogen and hydro
carbon) are discu ssed. Suggestion s on how to deal w ith the p rob lem s in the p roduction of silane from m agne sium silicide are
m ade.
Key W ords: silane; technological routes; m agne sium silicide; polycrystalline silicon; amorp hou s silicon film so lar cells
1 国内硅烷生产现状 商讨国内硅烷生产项目的开发应用问题 。他们投入
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