无驱动微机械陀螺敏感元件模态分析 Modal analysis on sensing element of no-driven micromechanical gyro.pdfVIP

第 22 卷第 5 期 中国惯性技术学报 Vol.22 No.5 2014 年 10 月 Journal of Chinese Inertial Technology Oct. 2014 文章编号：文章编号：1005-6734(2014)05-0655-05 doi: 10.13695/ki.12-1222/o3.2014.05.019 文章编号文章编号：： 无驱动微机械陀螺敏感元件模态分析 无驱动微机械陀螺敏感元件模态分析 无驱动微机械陀螺敏感元件模态分析无驱动微机械陀螺敏感元件模态分析 张增平，张福学，张 伟，刘 宇，张 宁 （北京信息科技大学 传感技术研究中心，北京 100101 ） 摘要：摘要：鉴于常规微机械陀螺的驱动结构和检测结构往往需要进行频率匹配，造成带宽较窄，工艺复杂 摘要摘要：： 的问题，设计了一种新的微机械陀螺，安装于旋转飞行器上，利用飞行器的旋转获得角动量，敏感飞 行器的偏航和俯仰横向角速度。由于没有驱动结构，所以结构简单，带宽较宽。首先基于这种巧妙的 结构建立了敏感元件的振动方程。根据振动方程，扭转梁是影响质量振动模态和模态频率的关键，同 时考虑到应力、残余应力的释放以及工作能力，扭转梁设计成横截面积为矩形的弧形梁，并对其抗扭 刚度进行了解析推导和计算，从而确定了敏感元件的固有频率。接着利用有限元分析的方法，对其振 动模态进行了仿真，仿真结果表明，敏感元件的第一模态是扭转振动，固有频率相对于解析结果的误 差为 9.86%。为了进一步验证，设计了静电驱动电容检测的方法，实验测试得到的谐振频率和解析值 的相对误差为 5.21%。仿真和实验结果与理论计算一致，表明扭转梁的设计是合理的，模态分析是正 确的，而且为动态性能评估和结构优化提供了理论依据。 关 关 键键 词词：：敏感元件；扭转梁；扭转刚度；固有频率 关关 键键 词词：： 中图分类号：中图分类号：U .1 文献标志码：文献标志码：A 中图分类号中图分类号：： 文献标志码文献标志码：： Modal analysis on sensing element of no-driven micromechanical gyro ZHANG Zeng-ping, ZHANG Fu-xue, ZHANG Wei, LIU Yu, ZHANG Ning (Sensing Technique Research Center, Beijing Information Science and Technology University, Beijing 100101, China) Abstract: The driving structure and detecting structure of traditional micromechanical gyroscope usually require frequency matching, causing narrow bandwidth and complex process. To solve this problem, a novel micromech